透過照明・同軸落射照明・側射照明

透過照明、同軸落射照明、側射照明についてご説明します。

顕微鏡の照明方法と種類

顕微鏡の照明方法は、大きく2つに分けられます。1つは、照明の光を透明な対象物をとおして、レンズで屈折させることで拡大する方法で「透過照明」といい、光を対象物の上から照射し、表面から反射した光がレンズを通し屈折することで拡大する方法を「落射照明」といいます。
落射照明には、「同軸落射照明」と「側射照明」があります。
同軸落射照明は、レンズの光軸と同じ方向から光をあてる方法で、明視野観察ができます。
側射照明は、レンズの横から斜めに光をあてます。凹凸による陰影ができるので、輪郭をはっきりととらえることができます。

透過照明

透明物内面の観察には、対象物の下側から透過照明で観察します。
対象物の厚さを考慮して、被写界深度が深いレンズが適しています。

透過照明画像例

同軸落射照明

金属鏡面や表面がなめらかな樹脂、半導体ウェハなど、正反射する対象物では、斜めからの照明では反射光がレンズに十分に入光せず、光量が不足することがあります。
また、凹凸ではなく表面の光沢や組織の違いを観察したい場合も、正反射光をとらえることできれいに観察することができます。
レンズ方向から照明を垂直に照射する方法を、「同軸落射照明」といいます。
同軸落射照明を作るためには、右図のようにハーフミラーを用いて、対象物に照射する照明の光軸とレンズの光軸を一致させます。