高温・低温環境下で使用できる測定器を使用し、対象物の表面の変位を測定します。周囲温度が耐環境温度を超える場合は、ロングレンジのレーザ変位計を使用し、ビューポート越しに対象物の表面変位を測定します。
分光干渉レーザ変位計SI-Fシリーズ
高速・高精度レーザ変位計LK-G3000シリーズ