導入事例
お客様の声 「厚み編」

Case 1ガラスの厚み測定

ガラスの厚み測定
業種 半導体・液晶業界
従来方法 A社製レーザ変位計
ご採用機種 LK-G5000シリーズカタログダウンロード

お客様の声

お客様の声

お客様の声

ガラスの厚みをA社製レーザ変位計で測定していました。パターン面で値飛びすることがあり、検査タクトがなかなか改善しませんでした。
キーエンスのレーザ変位計LKシリーズを採用することで、パターン面での値飛びがなくなり、検査タクトを改善することができました。

ご採用いただきありがとうございます。
パターン面での値飛びは、ガラス面とパターン面での反射率の差で発生します。レーザ変位計LKシリーズは、それぞれの面で最適な反射光量になるよう、発光時間と発光パワーを高速制御することで、値飛びの影響を限りなく小さくしました。

キーエンス営業担当より

キーエンス営業担当キーエンス

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Case 2多層フィルムの膜厚測定

多層フィルムの膜厚測定
業種 電子・電機業界
従来方法 X線式の膜厚計
ご採用機種 SI-Tシリーズカタログダウンロード

お客様の声

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透明の多層フィルムの膜厚をX線式の膜厚計で測定していました。測定スポットが大きいため、細かなの厚みのバラつきが管理できません。
キーエンスの分光干渉式レーザ変位計を採用することで、細かなフィルム厚みを測定でき、吐出流量や圧力、送り速度の最適な制御に活用できました。

ご採用いただきありがとうございます。
膜厚計SIシリーズはφ30μmの小スポットで厚みを測定できるため、エッジ部まで正確に測定することができます。巻き姿不良の検出やバンド現象の未然防止にも効果を発揮できます。

キーエンス営業担当より

キーエンス営業担当キーエンス

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Case 3ウエハの厚み測定

ウエハの厚み測定
業種 半導体・液晶業界
従来方法 接触式の測定器
ご採用機種 SI-Rシリーズカタログダウンロード

お客様の声

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ウエハの厚みを接触式の測定器で管理していました。測定の際にウエハを割ってしまう、傷がつくという課題があったため、非接触の測定器を検討していました。
キーエンスの分光干渉式レーザ変位計SI-Rシリーズを採用したことで、ウエハを傷つける心配がなくなりました。ヘッドも小さいため、装置内に設置して、ウエハの厚みを常時監視しています。

ご採用いただきありがとうございます。
分光干渉式レーザ変位計SI-Rシリーズは、Siをはじめ、GaAs、SiC、InP、a-Siなどの半導体を透過できる近赤外SLDを採用しています。そのため、BGテープが付いたままでも、ウエハの厚みを正確に測定できます。

キーエンス営業担当より

キーエンス営業担当キーエンス

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Case 4麺の厚み測定

麺の厚み測定
業種 食品業界
従来方法 マイクロメータ
ご採用機種 LK-G5000シリーズカタログダウンロード

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麺の厚みをマイクロメータを使って抜き取り検査していました。麺が柔らかいため、接触圧の影響で、人による測定結果にバラつきがありました。
キーエンスのレーザ変位計LKシリーズを採用することで、インラインでの厚み管理が実現しました。もちろん、非接触での測定なので、人によるバラつきの問題も解決しました。

ご採用いただきありがとうございます。
麺の厚み測定は非常にご採用実績の多いご用途です。麺の製造工程では粉が舞っている環境で、測定値を安定化させることがポイントです。
レーザ変位計LKシリーズは、突発的な値をキャンセルするメディアンフィルタを搭載していますので、粉の影響を受けることなく、安定測定ができます。

キーエンス営業担当より

キーエンス営業担当キーエンス

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Case 5ゴムシートの厚み測定

ゴムシートの厚み測定
業種 樹脂・ゴム業界
従来方法 A社製レーザ変位計
ご採用機種 LK-G5000シリーズカタログダウンロード

お客様の声

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ゴムシートの厚み測定をA社製レーザ変位計でインライン測定していました。
製品公差の厳格化に対応できずキーエンスのレーザ変位計LKシリーズをトライしました。従来表面粗さの影響で発生していた測定値のバラつきも解消され、購入を決めました。

ご採用いただきありがとうございます。
レーザ変位計LKシリーズは世界最速のサンプリング速度392kHzが特徴の製品です。高速サンプリングで得られた大量のデータを平均処理することで、インライン測定でも安定した厚み測定ができます。

キーエンス営業担当より

キーエンス営業担当キーエンス

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Case 6モーターコアの積層厚み測定

モーターコアの積層厚み測定
業種 輸送・金属業界
従来方法 目視検査
ご採用機種 LK-G5000シリーズカタログダウンロード

お客様の声

お客様の声

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積層モーターコアは積層枚数により性能が変わるため、規定枚数が確実にセットされているか目視検査を行っていました。
キーエンスのレーザ変位計LKシリーズを使ってインラインでの厚み測定を行うことで、抜き取り検査を自動化できました。

ご採用いただきありがとうございます。
厚み測定によってコアの枚数が規定の範囲内に入っているかを判定するためには、ミクロンオーダーでの測定精度が求められました。レーザ変位計LKシリーズは表面粗さの影響を極力抑えた光学設計、専用部品を搭載することで、インラインでも対象物を問わず、高精度測定ができます。

キーエンス営業担当より

キーエンス営業担当キーエンス

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Case 7ガラスパネルのシール材厚み測定

ガラスパネルのシール材厚み測定
業種 輸送・金属業界
従来方法 カメラ
ご採用機種 LJ-Vシリーズカタログダウンロード

お客様の声

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ガラスパネルのシール材をカメラで検査しています。塗布切れの検査はできていましたが、シール材の倒れを検査する必要が出てきたため、キーエンスの2次元レーザ変位計LJシリーズを導入しました。ディスペンサにセンサヘッドを固定することで、塗布切れの他、厚みや幅、断面積などを測定することができました。

ご採用いただきありがとうございます。
2次元レーザ変位計LJシリーズは、世界最速のサンプリング速度が特徴です。高速にディスペンサを制御した場合でも、挟ピッチの測定ができるため、シール不良を防止することができます。

キーエンス営業担当より

キーエンス営業担当キーエンス

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