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反り・平坦度

反り測定器/平坦度測定器をお探しの方へ

反り・平坦度測定の最適な測り方は、測定器の種類、設置環境など、いくつかの要素から選択することが重要です。 適さない機器を選定してしまうと、必要な精度が出なかったり、運用工数アップに繋がってしまいますので、避けたいものです。
このサイトでは反り測定器/平坦度測定器をお探しの方が、迷わずに最適な測り方まで辿り着けるよう、ナビゲートいたします。

「反り・平坦度」の測り方

STEP1:
各項目の質問を進むと最適な測り方が見つかります。
STEP2:
該当する測定器のカタログをダウンロードいただけます。

「反り・平坦度」の測り方

  • 測定1 シャーシの平坦度測定
  • 測定2 基盤の反り測定
  • 測定3 材料片の反り測定

反り、平坦度の定義について

対象物の反り・平坦度を測定する際は、はじめにその定義を決める必要があります。
ここでは、反り・平坦度測定の指標となる「平面度」の定義について説明します。

平面度の定義

平面度の定義

JISでは、「平面形体の幾何学的に正しい平面からの狂いの大きさ」と定義されています。たとえば、右図のように、平面で挟んだときに、0.1mmの幅があったならば、平面度は0.1mmとなります。

測定における平面度の定義

実際に測定することを考えると、JISの定義に沿って、幾何学的に正しい平面で測定対象を挟み込むことは一般的には困難です。「平面度」の測定方法を定義付けることが、平面度測定のスタートとなります。
ここでは、実際に測定現場でおこなわれている、平面度測定の代表例を紹介します。測定対象物の大きさ、形状、測定することになった背景、あるいは平面度に対する要求仕様(公差)により平面度の測定方法を決めていきます。

測定例 概要図 概要
1 概要図 1 平面(机上)においたときの最大高さを平面度とします。単純な方法ですが、ワークの姿勢が測定を左右します。
2 概要図 2 同一直線上の3点のうち、2点から直線を算出し、残りの1点とその直線の距離を測定し、平面度とします。
3 概要図 3 同一直線上にない3点の高さを測定し、その3点を通る平面を作成します。別の1点の高さと、求めた平面の距離を平面度とします。
4 概要図 4 平面上の多点(たとえば5×5の25点)の高さを求め、その多点を通る近似平面を最小二乗法で算出します。各点とその近似平面の距離の最大値を平面度とします。

反り・平坦度のデータ取得方法について

反り・平坦度の定義が決まったら、次はデータの取得方法を決めます。これを決めることで必要な測定器の種類、治具などが定まります。

高さデータの取得方法について

高さデータを取得する方法にもいくつかの手法があります。ワークの大きさ・表面状態、あるいは要求仕様(公差)、測定に使うことのできる時間などを考慮して決定します。

1次元測定 2次元測定
概要図 1次元測定 概要図 2次元測定 概要図
ポイント 2次元測定に比べ高精度に測定可能 センサヘッドを動かさずに広範囲を測定可能
注意点 多点の高さを測定するには、ステージの移動、もしくはヘッドを多数並べる必要あり。
2次元測定と比較すると時間がかかる。
プロファイルうねりに注意が必要。

取得した高さデータから平面度を求める方法の例です。
以下では、当社のPLC(KVシリーズ)や画像処理システム(XG/CV-Xシリーズ)を使用する方法を紹介しています。このほか、PCにデータを取り込み、PCソフトを構築し、平面度を求める手法もあります。

KV(PLC)にて演算 画像処理連携にて演算
概要 KVシリーズでラダーやスクリプトを記述し、取得した複数点のデータを使って平面度を算出します。 LJ-Vシリーズを使用する場合は、XGシリーズやCV-Xシリーズに取り込んで処理することが可能です。XG/CV-Xシリーズには平面を求めるツールが存在し容易に平面度を測定することが可能となります。
KV(PLC)にて演算 画像処理連携にて演算
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