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シリンドリカルレンズにより帯状に広げられたレーザ光が対象物の表面で拡散反射します。その反射光をHSE3-CMOS 上に結像させ、位置・形状の変化を検出することで変位、形状を測定します。
超高精細インラインプロファイル測定器LJ-X8000シリーズ
超高精細を極めた高画素とブルーレーザが実現すインライン全数安定検査
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