光源から照射された光はビームスプリッタにより2分され、一方は対象物、他方は参照ミラーでそれぞれ反射し、受光素子に干渉光として入光します。干渉光は互いの光路長が一致したときに干渉強度が最大となります。すべての光学部品を一体に組み付けた光学ユニットを上下駆動させ、得られた複数枚のコントラスト画像から画素ごとに干渉強度が最大となる光学ユニットの位置を読み取り、対象物までの距離を測定します。