半導体レーザをモータにより回転するポリゴンミラーに照射させることで、測定範囲をスキャンします。対象物により遮断されたレーザ光の明暗の時間差を測ることにより、外径などの測定値を求めます。
GreenLED・テレセントリックレンズを用いた光学系で均一なLED光を対象物に照射。2次元CMOS上で得られた光の明暗のエッジを検出し、寸法や角度などを測定します。 照明に左右されない透過型ならではのメリットを活かし、高精度測定を実現しています。
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