測定器の種類
透過型寸法測定器

Green-LED 投影方式

【原理】
Green-LED 光を均一な平行光にして照射。CMOS 上に届いた光の明暗のエッジ位置を検出し、外径などの測定値を算出します。

分光干渉方式

代表商品超高速・高精度寸法測定器 LS-9000シリーズ

超高速・高精度寸法測定器 LS-9000シリーズ

レーザスキャン方式

半導体レーザをモータにより回転するポリゴンミラーに照射させることで、測定範囲をスキャンします。
対象物により遮断されたレーザ光の明暗の時間差を測ることにより、外径などの測定値を求めます。

レーザスキャン方式の原理図
レーザスキャン方式の原理図

Wテレセンシルエット方式

投光部からグリーンLEDの平行光を照射し、受光部で陰影をCMOSに結像。結像された情報から寸法などの測定をおこないます。投光側・受光側、両方にテレセントリックレンズを搭載し、光の平行性を極めたことで、高い安定性と精度を実現しました。

Wテレセンシルエット方式

代表商品インライン投影画像測定器 TM-X5000シリーズ

インライン投影画像測定器 TM-X5000シリーズ

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    3次元レーザ変位計
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    膜厚計

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