測定器の種類
透過型寸法測定器

Green-LED 投影方式

【原理】
Green-LED 光を均一な平行光にして照射。CMOS 上に届いた光の明暗のエッジ位置を検出し、外径などの測定値を算出します。

分光干渉方式

代表商品超高速・高精度寸法測定器 LS-9000シリーズ

超高速・高精度寸法測定器 LS-9000シリーズ

レーザスキャン方式

半導体レーザをモータにより回転するポリゴンミラーに照射させることで、測定範囲をスキャンします。
対象物により遮断されたレーザ光の明暗の時間差を測ることにより、外径などの測定値を求めます。

レーザスキャン方式の原理図
レーザスキャン方式の原理図

代表商品高速・高機能レーザ寸法測定器 LS-3000シリーズ

高速・高機能レーザ寸法測定器 LS-3000シリーズ

2次元GreenLED方式

GreenLED・テレセントリックレンズを用いた光学系で均一なLED光を対象物に照射。2次元CMOS上で得られた光の明暗のエッジを検出し、寸法や角度などを測定します。
照明に左右されない透過型ならではのメリットを活かし、高精度測定を実現しています。

2次元GreenLED方式

2次元GreenLED方式

代表商品2次元寸法測定器 TM-3000シリーズ

2次元寸法測定器 TM-3000シリーズ

  • 測定器の種類
    3次元レーザ変位計
  • 測定器の種類
    膜厚計

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