非接触にて簡単3次元測定を実現！
透明体の３D形状にも対応！
| システム概要 | 高精度形状測定システム |
|---|---|
| 検出対象物 | あらゆる物体 |
| 測定スポット | 極小スポット ※使用する変位計に依存 |
| 表面状態による影響 | ◎ |
| ステージ移動量 | 100mm（X/Y） |
|---|---|
| 最大駆動速度 | 150mm/s |
| 最小移動分解能 | 0.1μm |
| 垂直度（垂直/水平） | 2μm／2μm |
| アプリケーション | 形状 |
|---|
| システム概要 | 高精度形状測定システム |
|---|---|
| 検出対象物 | あらゆる物体 |
| 測定スポット | 極小スポット ※使用する変位計に依存 |
| 表面状態による影響 | ◎ |
| ステージ移動量 | 100mm（X/Y） |
|---|---|
| 最大駆動速度 | 150mm/s |
| 最小移動分解能 | 0.1μm |
| 垂直度（垂直/水平） | 2μm／2μm |
| アプリケーション | 形状 |
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