tcm:106-1652087-64
白色干渉3D変位計 WI-5000シリーズ
点でも線でもない、“面”での測定
測定原理
白色干渉方式
検出対象物
あらゆる物体
測定スポット
エリア
表面状態による影響
◎
測定レンジ
(X-Y)10mm×10mm
(Z)1.4mm
繰り返し精度
0.1μm
サンプリング周期
7.5kHz
耐環境
△
アプリケーション
高さ・段差/形状