点でも線でもない、“面”での測定
| 測定原理 | 白色干渉方式 |
|---|---|
| 検出対象物 | あらゆる物体 |
| 測定スポット | エリア |
| 表面状態による影響 | ◎ |
| 測定レンジ | （X-Y）10mm×10mm （Z）1.4mm |
|---|---|
| 繰り返し精度 | 0.1μm |
| サンプリング周期 | 7.5kHz |
| 耐環境 | △ |
| アプリケーション | 高さ・段差／形状 |
|---|
| 測定原理 | 白色干渉方式 |
|---|---|
| 検出対象物 | あらゆる物体 |
| 測定スポット | エリア |
| 表面状態による影響 | ◎ |
| 測定レンジ | （X-Y）10mm×10mm （Z）1.4mm |
|---|---|
| 繰り返し精度 | 0.1μm |
| サンプリング周期 | 7.5kHz |
| 耐環境 | △ |
| アプリケーション | 高さ・段差／形状 |
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