CHAPTER 3測定機の種類と特徴

測定顕微鏡

概要

光学顕微鏡とXY方向に精密可動させることができるステージの組み合わせによって、対象物の測定を行う装置です。非接触で測定ができるため、対象物を傷つける恐れがありません。

構造と用途

測定顕微鏡の構造と用途
A
測定データ表示部
B
対物レンズ
C
可動ステージ
D
ステージ移動ハンドル(XYハンドル)

測定顕微鏡は、用途に応じて工具顕微鏡や工場用測定顕微鏡、万能測定顕微鏡などの種類があります。それぞれの特徴や用途は次の通りです。

  • 工具顕微鏡…測定顕微鏡の原点で、元々工具の測定に用いられていた。
  • 工場用測定顕微鏡…小さな加工部品などの測定に適している。
  • 万能測定顕微鏡…工具顕微鏡よりも広い用途に対応し、大きな対象物の測定が可能。

測定顕微鏡の主な使い方

  1. ステージに対象物をセットします。
  2. 一般的な光学顕微鏡と同じく透過光もしくは反射光を対象物に当てて、陰の境目を基準線に合わせて測定を行います。対象物によって照明(透過照明、同軸落射照明など)を使い分けます。
  3. 計測値は各種のCADデータとして出力が可能です。

取り扱いの注意点

  • 一般の顕微鏡を使用する際と同様に、ホコリが浮遊していない環境で使用する必要があります。また、設置台は振動や傾斜のないことが求められます。
  • 使用後はカバーをかけてホコリなどの異物付着を防止します。
  • 測定顕微鏡の校正周期は、1~3年です。

測定顕微鏡の課題と解決

測定の安定性
人によってピントを合わす位置が異なり、測定誤差が生じる。
検査する人によって作業効率や測定の精度が異なる。
対応力
測定箇所に応じて照明装置を使い分けるため、複数の同じ対象物を測定する際、正確な再現が難しい場合がある。
工数・コスト
対象物の向きを合わせ、手作業でXYステージを動かし位置調整しながら、測定点の座標を1点ずつ取得して測定するため時間がかかる。
段差がある対象物の場合、測定点の高さが変わるごとにピントを合わす必要があるため測定工数がかさむ。
測定結果を手作業で記録してまとめる作業、各種書類の作成に時間がかかる。

測定顕微鏡の課題解決

測定顕微鏡におけるさまざまな課題を解決するには、「高精度 画像寸法測定器」の使用が最適です。対象物をステージに置いてボタン押すだけの簡単操作。 対象物の位置・向きを判別し、ステージ移動・ピント合わせ・照明の再現を自動で行い、わずか数秒で最大99箇所を高精度に測定することができます。

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