超高真空環境でも高精度測定 マルチカラーレーザ同軸変位計
CL-3000シリーズ

CL-V020/V050は、センサヘッド内に有機系接着剤を使用していないため、アウトガスの発生を極限まで低減しています。

CL-V020/V050は周囲温度200℃まで対応。温度変化の大きい環境で使用できます。

CF16サイズの専用フィードスルーを用意。コネクタ接続で簡単に真空取り付けを実現できます。