マイクロスコープで 観察しながら元素分析 NEW レーザ元素分析ヘッドEA-300シリーズ

注目ポイント01 元素分析は、ステージの上に置くだけ

蒸着や真空引き不要、そのまま元素分析

超高速LIBS解析

レーザ誘起ブレークダウン分光法を採用し、安全性が高いクラス1のレーザを使用。レーザにより対象物表面をプラズマ化し、発光色を広帯域（深紫外線～近赤外線）・高分解能の分光器で検出。マイクロスコープ観察系を同軸に入れることで、狙った場所の元素を検出できます。

物質特定をAIでサポート

AI-サジェスト

数千種類の元素パターンを内部データベースに保有しているため、検出した元素だけでなく、その物質名まで瞬時に示唆します。物質データは階層的に構成されており、固有の名称から総称、さらにはその説明まで簡単に確認できます。また、自社での分析結果を蓄積することで、過去に同様の異物が検出された事例を検索することも可能です。誰でも簡単に、専門知識不要で物質を瞬時に判断できます。

検出した元素パターンから瞬時に物質を示唆

注目ポイント02 拡大観察から元素分析までシームレスに完結

拡大観察と元素分析の
ハイブリッド

トリプル光学系搭載 高性能元素分析ヘッド

観察光学系、レーザ光学系、分光光学系をマイクロスコープに脱着可能な小型ヘッドに内蔵。専用設計のトリプル光学系は、中心部にレーザの透過経路を有するとともに、対物レンズ周辺部の反射光学系によってプラズマ発光を高効率に集光します。キーエンスが培ってきた光学・レーザ・分光技術を融合させることで、かつてない小型化と高性能化を実現しました。

ステージに小型ヘッドを装着

観察画面でワンクリック
位置決め不要で元素分析

視野／フォーカス連動機構

マイクロスコープレンズとレーザ対物レンズ、2つのレンズがスライド移動することで同じ視野を共有できる「視野／フォーカス連動機構」を構築し、元素分析時の位置合わせとピント調整を不要にしました。用途に最適なズームレンズを接続することで、低倍率から高倍率まで、あらゆるシーンでの効率的な分析作業を実現します。

拡大観察時（マイクロスコープレンズ）
元素分析時（レーザ対物レンズ）

レーザ元素分析ヘッド

NEWEA-300シリーズ