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ナノ・マイクロ・ミリ
すべての測定は
これ1台で完結する。
新商品 白色干渉計搭載 レーザ顕微鏡 VK-X3000

レーザ共焦点 x 白色干渉 x フォーカスバリエーション [世界初]3原理トリプルスキャン方式

世界初 3つの測定原理による トリプルスキャン方式“測れない”をなくす

トリプルスキャン方式 レーザ共焦点 x 白色干渉 x フォーカスバリエーション

  • 微細形状を高精度に

  • 凹凸形状を広範囲に

  • 難しい素材もありのままに

レーザ顕微鏡の枠を超える測定を
実現した3つの測定原理

レーザ共焦点

一平面に、Z軸位置毎の反射光量情報を得ることで、反射光量が最も高いZ軸位置(=焦点位置)や、その際の反射光量・色情報を取得します。
これらの情報を基に“カラー超深度” “光量超深度” “高低”の3種類の画像データを構築します。

白色干渉

CMOS素子で光の干渉パターンを観測し、3次元形状を求めます。
対象物と基準平面鏡からの反射光同士を干渉させることで現れる干渉縞を、560万画素高精細カラーC-MOSカメラを用い、表面形状を測定します。

フォーカスバリエーション

被写界深度を基に決められた移動ピッチで対物レンズを動かし、560万画素高精細カラーC-MOSカメラで捉えた高画質画像のフォーカス変化(映像のボケ具合)を検知し、ピントが合った位置を求めます。
対象物の一部にピントが合った画像を重ね合わせることで、全体に焦点が合った観察画像を合成することができます。

あきらめていた難しい測定も、すべて1台で

分光⼲渉膜厚測定
(薄膜の厚み測定)
ナノレベルの段差測定
(8nm段差ゲージ)
難しい素材の粗さ測定
(Siウェハ裏⾯の表⾯粗さ)
広範囲の形状測定
(50mm×20mm電⼦基板)

白色干渉計搭載 レーザ顕微鏡
VK-X3000

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