あきらめていた難しい測定も、
すべて1台で

(薄膜の厚み測定)

(8nm段差ゲージ)

(Siウェハ裏⾯の表⾯粗さ)

(50mm×20mm電⼦基板)

![レーザ共焦点 x 白色干渉 x フォーカスバリエーション [世界初]3原理トリプルスキャン方式](/Images/vk-x_2090_01_img_04_1913139.png)












