- 微細な粗さを高精度測定
- 非接触なので試料の表面を傷つけないだけではなく触針よりもスポット計が小さいのでより微細な箇所の測定が可能です。
また、線ではなく面での形状・粗さを測定できます。
白色干渉計搭載 レーザ顕微鏡とは
- とにかく高精度で測りたい
- 透明体を測りたい
- 高低差の大きい対象物を測りたい
- 高解像で観察したい
- 線ではなく面で測りたい
など、さまざまな要件を1台で満たす
3つの測定原理を搭載したレーザ顕微鏡です。
白色干渉計搭載 レーザ顕微鏡 VK-X3000の主な機能
- 光学顕微鏡以上の倍率＆解像度
- 電子顕微鏡のような真空引きを必要とせず光学顕微鏡に比べ焦点深度が深く、高倍率・高解像度での観察が可能です。
- 広範囲・高分解能での形状測定
- 白色干渉の測定原理により分解能0.01 nmで微細な形状を正確に測定できます。
また、透明体・鏡面体の測定も可能です。
| 分類 | 非接触式 | 接触式 | ||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 測定機 | 白色干渉計 | 光学顕微鏡 （フォーカスバリエーション） |
レーザ顕微鏡 （レーザ共焦点） |
レーザスキャン式 変位計 |
接触式粗さ計 | 原子間力顕微鏡 （AFM） |
| 精度 | ◎ | △ | ○ | ○ | ○ | ◎ |
| 高さ方向 分解能 |
◎ | △ | ○ | ○ | ○ | ◎ |
| ナノ （＜0.1 nm） |
ミクロン （0.2 μm） |
ナノ （0.1 nm） |
ミクロン （0.3 μm） |
ミクロン （0.01 μm） |
ナノ （＜0.01 nm） |
|
| 高さ測定 レンジ |
○ | ◎ | ○ | ○ | △ | × |
| 7 mm | 49 mm | 7 mm | 5 mm | 1 mm | 10 μm | |
| 測定領域 | △ | ○ | △ | ○ | ◎ | × |
| 34 μm〜1.3 mm | 50 μm〜15 mm | 11 μm〜1.8 mm | 8 mm | 100 mm | 1〜200 μm | |
| XY方向 分解能 |
△ | △ | ◎ | △ | × | ◎ |
| 測定時間 | ○ | ◎ | △ | ○ | △ | × |
| 角度特性 | △ | ◎ | ◎ | ◎ | △ | × |
| 鏡面体・ 透明体 |
◎ | △ | ◎ | △ | ◎ | ◎ |
| 測定方法 | 面測定 | 面測定 | 面測定 （スキャン） |
線測定 （スキャン） |
線測定 （スキャン） |
面測定 （スキャン） |
| サンプルへ のダメージ |
なし | なし | なし | なし | あり | あり |
| 特長 | 倍率に関わらずnm オーダーの精度 |
広範囲を高速で 測定可能 |
ほぼすべての 材質に対応 |
インラインで 測定可能 |
測定長さが 大きい |
最も高精度 |
測定機の
使い分け不要
白色干渉計搭載 レーザ顕微鏡 VK-X3000なら
3つの測定原理を1台で
