画像処理によるアライメント・位置決めソリューション

高精度・高速処理・高ロバスト

業界最高精度

高精度なオートキャリブレーション機能

高精度・高速処理・高ロバスト

アライメントではキャリブレーションの精度が最終精度に直結します。弊社のアライメントシステムでは高精度なオートキャリブレーション機能を搭載しています。

高精度なキャリブレーションにより1回のアライメントで目標精度を満たすことができ、タクトの向上にも繋がります。

業界最高精度輪郭形状サーチ ShapeTraxII(シェイプトラックスツー)

高精度・高速処理・高ロバスト

アライメントを行なう上で最も重要な位置検出を超高精度0.025画素で実現します。

キャリブレーションユニット

レンズ歪み、カメラ傾きを補正し、精度の高い位置情報を取得します。

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タクトを向上させる高速処理

究極の分散処理 マルチコアプロセッサ

高精度・高速処理・高ロバスト

XG-7000シリーズ
合計4つのプロセッサで処理を分担する「3+1」システムにより高速性を実現しました。

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高精度・高速処理・高ロバスト

XG-8000シリーズ
メインDSPを3つのコアを持つマルチコアへと進化させ、A.C.Eと通信制御用CPUを1つのFPGAに融合し、究極の高速性を実現しました。

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業界最速の高速カメラ

高速転送技術により、タクトを維持したまま複数回取込み、平均化することで精度を向上させることが可能です。

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型式 スペック 取込範囲 転送時間
XG-H500M/C 11倍速白黒/カラー 2432 x 2050 61.2ms
XG-H200M/C 7倍速白黒/カラー 1600×1200 29.2ms
XG-H035M/C 7倍速白黒/カラー 640×480 4.7ms

業界最速輪郭形状サーチ ShapeTraxII(シェイプトラックスツー)

アライメントを行なう上で最も重要な位置検出を最速で実現します。

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安定を追及した高ロバスト性

用途に合わせて最適な位置検出アルゴリズムが選択可能です。

アライメントマーク検出 ShapeTraxII(シェイプトラックスツー)

サーチ対象に欠けや部分的な隠蔽が発生したり、明暗の反転、コントラストの低下や、対象の大きさ変化が発生しても安定したサーチが可能です。
個体差が大きく、状態の悪いアライメントマークなども安定して、高速にサーチを行ないます。

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登録画像

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欠損

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輪郭不明瞭

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明暗反転

基板コーナー仮想交点検出

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ウエハノッチ位置決め

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アライメントでオススメの機種

様々な用途や検査に合わせてフレキシブルに対応可能な、超高速・高容量マルチカメラ画像処理システム。
XG-8000


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アライメントにも役立つ、画像処理の基礎から実践まで学べる画像処理の教科書「画像道場(総集編)」です。