分光干渉変位タイプ　多層膜厚測定器　SI-Tシリーズ

分光ユニット

SI-T80U

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仕様

種類			長距離厚み測定タイプ
型式			SI-T80
型式			SI-T80U
測定範囲（屈折率n=1）			0.01～1.0mm
基準距離※1			80mm
測定用光源			赤外SLD、出力1mW、レーザクラス1（JIS C6802）
スポット径※2			φ25μm
直線性			±0.3μm※3
分解能※4			0.01μm
サンプリング周期			1ms
LED表示			測定中心付近：緑点灯/測定範囲内：橙点灯/測定範囲外:橙点滅
耐環境性	保護構造	センサヘッド	IP64
	使用周囲照度		白熱ランプ、蛍光灯:10000lx以下
	使用周囲温度	センサヘッド	0～＋50℃
	使用周囲温度	分光ユニット	0～+35°C
	使用周囲湿度	センサヘッド	35～85％RH（結露なきこと）
	使用周囲湿度	分光ユニット	35～80%RH（結露なきこと）
	耐振動	センサヘッド	10～55Hz 複振幅 1.5mm XYZ各方向2時間
	耐振動	分光ユニット	10～55Hz 複振幅 0.5mm XYZ各方向2時間
材質		センサヘッド	SUS304
材質		分光ユニット	ポリカーボネート
質量		センサヘッド (コード含む）	約70g
質量		分光ユニット	約1.3kg

※1	センサヘッド前面からの距離をあらわしています。最大±0.2mmの個体差があります。
※2	測定範囲内における最小スポット径を表しています。
※3	測定対象は2枚のガラス板の隙間厚みで、平均回数64回に設定して測定した場合の値
※4	測定対象はt=0.1mmのガラス厚みで測定中心にて平均回数4096回に設定して測定した場合の値
・	センサヘッドと分光ユニットはペア調整されています。互換性はありません。