トレー上のICチップの浮き・重なり検出

3Dデータで生成した高さ画像を用いることでカメラでは捉えづらいチップの重なりや浮きを検出することができます。また同時に濃淡画像を取得することで、チップの外観の違いから表裏判別検査も可能です。

高さ画像

濃淡画像

オートスキャン3Dセンサ

LJ-S8000 シリーズ