ガラスの位置決め

従来は画像処理のみでアライメントを行っていましたが、タクトアップのためにプリアライメントが必要になりました。LS-9000シリーズは透明体測定モードを装備。薄いガラス基板の端部も安定検出します。

超高速・高精度寸法測定器

LS-9000 シリーズ