φ２μmのスポット径による”高精度な形状測定”
共焦点方式による”薄膜の厚み測定”
材質、色、傾きの影響を受けない超高精度レーザ変位計
| 測定原理 | 共焦点方式 |
|---|---|
| 検出対象物 | あらゆる物体 |
| 測定スポット | 極小スポット |
| 表面状態による影響 | ◎ |
| 測定レンジ | ～31mm |
|---|---|
| 繰り返し精度 | 0.01μｍ～ |
| サンプリング周期 | 1.5ｋHz |
| 耐環境 | △ |
| アプリケーション | 厚み／形状／ギャップ |
|---|
材質、色、傾きの影響を受けない超高精度レーザ変位計
| 測定原理 | 共焦点方式 |
|---|---|
| 検出対象物 | あらゆる物体 |
| 測定スポット | 極小スポット |
| 表面状態による影響 | ◎ |
| 測定レンジ | ～31mm |
|---|---|
| 繰り返し精度 | 0.01μｍ～ |
| サンプリング周期 | 1.5ｋHz |
| 耐環境 | △ |
| アプリケーション | 厚み／形状／ギャップ |
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