【新商品情報】ダメージレスで、はっきりと鮮やかな印字を実現する、UV波長の3-Axisレーザマーカ「MD-Uシリーズ」誕生。

ダブルスキャン高精度レーザ測定器
LT-9000 シリーズ

ø2umのスポット径による”正確な形状測定”共焦点方式による”薄膜の厚み測定” 材質、色、傾きの影響を受けない超高精度レーザ変位計

1ø2μmの極小スポットを実現

共焦点方式による同軸光学系を採用。対象物上で焦点の合った位置を測定する原理のため、「焦点の合った位置=最小スポット位置」となります。全測定範囲でø2μmの極小スポットを実現。微細ワークを正確に測定できます。また測定部に小型CCDカメラを内蔵したことで、極小スポットを簡単に測定ポイントに合わせることができます。

ワイヤーの高さ測定
狭ピッチボンディングのワイヤの高さが確実に測定できます

鮮明マイクロスコープ機能

2アプリケーションと安定性を追求するX軸スキャン

搖動ユニットによってø2μmのスポットを最大1100μmまで水平移動できるため、形状・角度・面積が測定できます。またアプリケーションの広がりだけでなく、スキャンデータの中で信頼性の高いデータを採用する光量積算機能を搭載し、安定測定を実現しました。

X軸スキャン

光量積算機能

3抜群の角度特性

高精度非球面レンズを採用することにより高N.Aを実現。
測定対象物が傾いても反射光を受光することができるため、抜群の角度特性を発揮します。

43次元測定・解析用途への展開

高精度X-YステージKS-1100と組み合わせることで、3次元形状測定・解析ができます。

3次元測定・解析用途への展開

3次元測定・解析用途への展開

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