tcm:106-1604650-64
マイクロヘッド型 分光干渉レーザ変位計 SI-Fシリーズ
設置場所を選ばない!
φ2mmのマイクロヘッドをラインナップ
測定原理
分光干渉方式
検出対象物
鏡面・透明体
測定スポット
小スポット
表面状態による影響
△
測定レンジ
~81.1mm
繰り返し精度
0.001μm~
サンプリング周期
5kHz
耐環境
△
アプリケーション
厚み/ギャップ/位置決め