マイクロヘッド型 分光干渉レーザ変位計 SI-Fシリーズ

マイクロヘッド型 分光干渉レーザ変位計 SI-Fシリーズ

カタログダウンロード

設置場所を選ばない!
φ2mmのマイクロヘッドをラインナップ

測定原理 分光干渉方式
検出対象物 鏡面・透明体
測定スポット 小スポット
表面状態による影響
測定レンジ ~81.1mm
繰り返し精度 0.001μm~
サンプリング周期 5kHz
耐環境
アプリケーション 厚み/ギャップ/位置決め