マイクロヘッド型 分光干渉レーザ変位計
SI-F シリーズ

φ2mmのマイクロヘッドをラインナップ 「できない」を「できる」に変えた 世界初 超小型・高精度ファイバヘッド変位計 複写機内部のローラ挙動測定 ガラスディスクの厚み測定 高精度ステージの位置決め ウエハの厚み測定

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4つの特長

1. 超高分解能&3種のヘッドバリエーション

マイクロヘッドタイプ SI-F01

長距離タイプ SI-F10

厚み測定タイプ SI-F80

2. ファイバ構造が実現する3大メリット

測定ヘッドを“ファイバ+レンズ”のみで構成し、電子部品を全て排除しました。

小型&軽量&耐熱

設置スペースを考える上での制約が大幅に減少します。
従来設置できなかった測定案件など、対応できる幅が広がります。

発熱ゼロ

ファイバヘッド構造の採用により、ヘッド部“発熱ゼロ”を実現。
熱発生源による測定誤差を解消できます。

電気/磁気ノイズの影響ゼロ

測定ヘッド部分に電気回路がないため、要因を特定しにくく、対策の難しい周囲からの電気/磁気ノイズの影響を受けません。

3. 最大6ヘッド接続&マルチ演算機能

メインコントローラに増設コントローラを接続することで、最大6ヘッドの同時測定が可能。
複数ヘッドを使用した段差・平坦度測定などのマルチ演算機能も搭載しています。

4.データ収集&簡単設定の専用PCソフト

コントローラ内部にMAX120万点もの測定データを蓄積することができ、USB通信によりPC上でデータの取得ができます。

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