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マイクロヘッド型 分光干渉レーザ変位計
SI-F シリーズ

φ2mmのマイクロヘッドをラインナップ 「できない」を「できる」に変えた 世界初 超小型・高精度ファイバヘッド変位計

1超高分解能&3種のヘッドバリエーション

マイクロヘッドタイプ SI-F01

長距離タイプ SI-F10

厚み(ギャップ)測定タイプ SI-F80

ウエハ厚み測定タイプの詳細はこちら

2ファイバ構造が実現する3大メリット

測定ヘッドを“ファイバ+レンズ”のみで構成し、電子部品を全て排除しました。

小型&軽量&耐熱

発熱ゼロ

電気/磁気ノイズの影響ゼロ

測定原理の詳細はこちら

3最大6ヘッド接続&マルチ演算機能

メインコントローラに増設コントローラを接続することで、最大6ヘッドの同時測定が可能。
複数ヘッドを使用した段差・平坦度測定などのマルチ演算機能も搭載しています。

最大6ヘッド接続&マルチ演算機能

最大6ヘッド接続&マルチ演算機能

4データ収集&簡単設定の専用PCソフト

コントローラ内部にMAX120万点もの測定データを蓄積することができ、
USB通信によりPC上でデータの取得ができます。

データ収集&簡単設定の専用PCソフト

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