非接触
光学式反射型 光学式透過型
特長
  • 幅広いアプリケーション
  • ラインナップが豊富
  • 高精度
  • 超高速
  • 幅広いアプリケーション
  • ラインナップが豊富
  • 高精度
  • 1mのロングレンジ
  • インラインで流れる対象物の形状を超高速に測定
  • 300mmのロングレンジもラインナップ
  • 高さ・幅など複数ポイントを同時測定
  • 段差測定時 傾き自動補正
  • 微小形状測定に最適
  • φ0.9μmのレーザスポット
  • 超小型センサヘッド
  • 発熱・温度ドリフトがない
  • 1nmの分解能
  • 膜厚・ギャップ測定に最適
  • インラインでの寸法測定
  • 2箇所同時測定
  • インラインでの寸法測定
  • 16箇所同時測定
  • オフラインでの寸法測定
  • 99箇所同時測定
  • データ記録・解析機能
  • 落射測定可能
測定原理 三角測距方式 2次元三角測距方式 共焦点方式 分光干渉方式 LED透過方式 2次元LED透過方式 2次元LED透過方式
シリーズ名 LK-G5000シリーズ LK-G3000シリーズ LJ-V7000シリーズ LJ-G5000シリーズ LTシリーズ SIシリーズ LS-7000シリーズ TMシリーズ IMシリーズ
センサヘッド外観
表示分解能 0.001μm～ 0.01μm～
  • インラインで流れる対象物の形状を超高速に測定
  • 300mmのロングレンジもラインナップ
 0.1μm～
0.001mm2～
0.01°～		 0.01μm～
1μm2～
0.01°～ 		0.001μm～ 0.01μm～ 0.01μm～
0.001mm2～
0.01°～		 0.1μm
測定範囲 7.5mm～190mm 7.2～1000mm Z軸（高さ）：47～445mm
X軸（幅）：～240mm		 Z軸（高さ）：12.4～248mm
X軸（幅）： ～73mm		 0.9mm～31mm 0.05mm～81.1mm ～65mm ～φ65mm φ100×200㎜
基準距離 8mm～500mm 60mm～300mm 15mm～200mm 1mm～30mm 0.05mm～80mm －
光源 光源 赤色半導体レーザ
（可視光）		 赤色半導体レーザ波長
（可視光）		 青色半導体レーザ
(可視光)		 赤色半導体レーザ
（可視光）		 赤色半導体レーザ or
青色半導体レーザ（可視光）		 赤外SLD（不可視光） グリーンLED
レーザクラス Class1 or Class2 or
Class3R or Class3B		 Class1 or Class2 or Class3R Class2 or Class2M Class2 Class1 or Class2 Class1 LED Class1
直線性 ±0.02％ of F.S.～ ±0.03％ of F.S.～ ±0.1％ of F.S.～ ±0.3％ of F.S.～ ± 0.2μm～ －
繰り返し精度
または 分解能		 0.001μm～ 0.01μm～ Z軸(高さ)：0.4μm～・
X軸(幅)：5μm～		 Z軸（高さ）0.2μm～・
X軸（幅）2.5μm～		 0.01μm～ 0.001μm～ ±0.06μm～ ±0.1μm～
温度特性 0.01％ of F.S./℃～ 0.01％ of F.S./℃ 0.02％ of F.S./℃ 0.25％ of F.S./℃～ － －
サンプリング速度/応答時間 2.55us～ 20us～ 15.6μs～ 3.8ms～ 640us～ 200us～ 0.42ms～ 5.5ms～ －
耐環境性 保護構造 IP67 － IP64・67 IP64 －
使用周囲照度 白熱ランプ5000lx・10000lx 白熱ランプ5000lx・
7500lx・10000lx		 白熱ランプ10000lx以下 白熱ランプ5000lx以下 白熱ランプ10000lx以下 白熱ランプ10000lx以下 －
使用周囲温度 0～＋45℃・50℃
（氷結しないこと）		 0・10～＋40・50℃
（氷結しないこと）		 0～＋45℃
（氷結しないこと）		 0～＋50℃
（氷結しないこと）		 0～＋35℃
（氷結しないこと）		 0～＋35℃
（氷結しないこと）		 0～＋50℃
（氷結しないこと）		 ＋10～＋35℃
（氷結しないこと）
使用周囲湿度 35～85％RH（結露しないこと） 20～85％RH(結露しないこと) 35～85％RH（結露しないこと） 35～85％RH（結露しないこと） 20～80％RH（結露しないこと）
耐振動 10～55Hz 複振幅1.5mm
X、Y、Z各方向2時間		 10～57Hz 複振幅1.5mm
X、Y、Z各方向3時間		 10～55Hz 複振幅1.5mm
X、Y、Z各方向2時間		 － 10～55Hz 複振幅0.5・1.5mm
X、Y、Z各方向2時間		 －
判定出力 ○ ○
アナログ出力 ○ ○ －
演算機能 ○ ○
アプリケーション