粗さ計

概要

「表面粗さ計」とも呼ばれ、対象物の表面の平滑度（凸凹の程度）を測定する装置です。主に触針式やレーザー式があります。従来、ダイヤモンド製の触針を用いた機種が一般的でしたが、半導体などの表面を測定する際に傷をつける恐れがあることから、光学タイプのものが普及しています。平面だけでなく、曲面の測定が可能な機種があるほか、最近では表面の測定データをもとに形状を三次元画像で表示できるものもあります。
用途としては、たとえば金属表面の摩耗状況や切削面の状況の確認、塗装時の仕上がり状態を確認するなどが挙げられます。電子部品の薄膜加工が進む中で、ナノメートルオーダーで測定できるものもあります。

構造と用途

• 基本はJISに準拠した測定を心がける必要があります。
• 触針式の場合、先端の半径が2µmのものを使うのが一般的です。ただし、精密加工品によっては0.1〜0.5µmクラスの使用を検討します。用いる触針によって測定値にばらつきが出る可能性があるため、事前に確認することが欠かせません。

粗さ計の主な使い方

1. 接触式の場合、触針が対象物の表面をなぞり、表面の粗さを測定します。一方、レーザーによる非接触式は対象物にレーザーを照射して、反射した光を検知して粗さを測定します。
2. 測定時は測定方向に注意する必要があります。たとえば、金属加工品の場合、凸凹の特徴をより確実にとらえるため、基本的に加工方向と直角に測定を行います。
3. 正確な測定のためには、測定速度の決定が大切です。まずは低い速度から試してみて、測定値がぶれない範囲で行います。

取り扱いの注意点

• 正しい測定のためには定期的な校正が必要です。