ココが知りたい! 形状測定

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レーザー顕微鏡を使った膜厚の測定について

レーザー顕微鏡を使った膜厚の測定について

レーザー顕微鏡では、照射されたレーザー光が測定対象で反射し、その反射光の輝度が最大になる点の情報をもとに表面形状を測定しています。そのため、膜厚測定の場合は複数の層における反射光の最大値を検出し、それぞれの層における焦点位置を検出することにより、レーザー顕微鏡での膜厚測定を可能にしています。

透明な塗膜の場合は、表面(塗膜の表側)と裏面(下地に密着した側)とで、反射する対象の素材が異なるため、その反射光の光量も異なります。それぞれの層での反射光をもとに生成された表面形状の画像をもとに、高さ方向の差異を算出することで、膜厚が測定できます。

レーザー顕微鏡を使った膜厚の測定について

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