ココが知りたい! 形状測定

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測定器としての共焦点レーザー顕微鏡の実力

測定器としての共焦点レーザー顕微鏡の実力

共焦点レーザー顕微鏡は、レーザーを用いた非接触式であることが最大の特徴です。
その特徴により観察対象の材質や形状を選ぶことなく高精度な測定を可能にしています。

測定器としての共焦点レーザー顕微鏡の実力

接触式粗さ計との比較

従来の接触式粗さ計では、以下のような課題が発生していました。
・狙った位置に触針を当てることが難しい
・触針の先端径よりも小さい部分は測定できない
・サンプルの表面を触針で傷付けてしまう
・柔らかいサンプルや、粘性のあるサンプルは計測が難しい
・触針の摩耗度合いによって、測定精度が変化する

レーザー共焦点顕微鏡は、これらの課題をすべて解決しています。
三次元画像上で任意の領域を指定することにより、サンプルに触れることなく高い分解能で粗さを測定できます。

材質や形状、測定者に依存しない測定

波長の短いレーザーを使用することにより、環境光の影響を受けることなくサンプルを測定できます。
非接触式であるため、サンプルの材質や形状に左右されることなく短時間で測定できるという特長があります。
干渉計や従来のレーザー顕微鏡では測定が難しかったサンプルに対して、高い分解能での測定を実現します。

材質や形状、測定者に依存しない測定

また、測定者によるバラつきが生じにくいことも、特長として挙げられます。
レーザーの照射→反射光の結像→三次元画像の構成が、すべて測定器の中でおこなわれるため、接触式で必要とされる触針の操作が不要になります。これにより、測定者に依存した誤差を考慮する必要がなくなります。

高解像度観察

共焦点レーザー顕微鏡は、光学顕微鏡では実現が難しい、大気中での超高倍率カラー観察を提供します。
レーザーの受光素子に用いられる光電子増倍管(PMT:フォトマルチプライヤ)は、高感度・高速応答・低ノイズという特長があります。これにより、従来のCCD(電荷結合素子)型レーザー顕微鏡よりも、以下の点で優れた能力を発揮します。
・表面反射率の低い材質の対象物でも測定できる
・傾斜角度の大きな部分でも測定できる
・高速スキャンに対応して、測定時間を短くできる
・濃淡のはっきりした最適なコントラストを得られる

弊社が提供するVK seriesは、ここで記載した特長をもつ、超高精度の3D粗さ測定と高精細観察を提供するレーザー顕微鏡です。詳細はこちらを参照してください。