共焦点レーザー顕微鏡が活躍する現場
非接触式であり、波長の短いレーザーを使用する共焦点レーザー顕微鏡。
顕微鏡本来の役割である「観察」はもちろんのこと、三次元画像を活用してさまざまな測定ができます。
一般的な検査として、良品／不良品、評価前／評価後の差を確認する工程があります。
・良品と比較して、どこに不良が発生しているのか
・評価前と比較して、評価後にはどこに変化が生じているのか
これらを、いち早く知ることが、作業全体の段取りを向上させます。
共焦点レーザー顕微鏡によって得られた、対象物を三次元画像上に任意の直線を指定することで、その部分のプロファイルを得られます。2つのプロファイルを重ね合わせることにより、その違いを視覚的に確認できることはもちろんのこと、該当部分の数値情報も確認できます。
肉眼では確認しにくい微細な形状変化をカラー画像で観察することにより、調整すべきポイントが容易に把握できます。
プリント基板の検査
携帯電話やスマートフォンが広く普及した今日、内部に使われているプリント基板は「小さい、薄い、軽い」が求められています。大きさが変わっても、そこに求められる精度に変わりはありません。
プリント基板の検査工程では、限られた面積と高さの範囲に、必要な回路が決められたパターンで配置されているかを確認する必要があります。
大量生産されるプリント基板に不良品が混在していないかを確認するときに、共焦点レーザー顕微鏡が「測定検査器」の役割を果たします。
検査対象のプリント基板を三次元画像化し、良品との重ね合わせによる比較チェックがおこなわれます。
分的な拡大、断面形状などを利用して、肉眼では把握しにくい微細な不良箇所を容易に把握することができます。
大型液晶パネルの検査
通常、共焦点レーザー顕微鏡は対物レンズの下にあるXYステージに対象物を載せて観察、測定をおこないます。
大型液晶パネルのように大きな面積をもつ対象物を検査する場合は、測定ヘッドをアーム型の専用治具に設置して検査をおこないます。
測定ヘッドそのものを移動させて走査することにより、広範囲にわたる検査が可能です。
一定の速度で測定ヘッドを移動しながら、目視では確認しにくい点欠陥が生じていないかを確認します。
