自動全数検査に要求される検査内容・精度・スピードは、高度化の一途を辿っています。AOI装置やAXI装置、赤外線検査機・近赤外線カメラ、超音波検査装置など目的に応じた各種検査手法が存在しますが、それぞれ課題もありました。
自動全数検査を高度化・効率化するには、ライン速度を落とさずに、高速でより多くの情報を高精度に取得することが重要です。
そこで、3次元で外観・寸法・形状など多くの項目を瞬時に一括検査できる「インライン3次元検査」が注目を集めています。
ここでは、インライン3次元検査を実現する各種ヘッドや照明の原理やテクノロジー、高性能な画像処理システムや高速・高精度な各種方式のヘッドまたは照明との組み合わせ、各方式の原理やメリットなどについて紹介します。