ワンショット3D形状測定機 コントローラ VR-5000
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推奨代替機種
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VR-6000
仕様
型式 | VR-5000 | |||
種類 | コントローラ | |||
照明系 | 観察用光源 | LEDリング照明 (赤、青、緑) | ||
測定用光源 | 白色LED | |||
対応ヘッド | VR-5200,VR-5100 | |||
観察視野 | 低倍(広視野) | 15型モニタ上倍率 12× | 横 | 24.0 mm |
縦 | 18.0 mm | |||
15型モニタ上倍率 25× | 横 | 12.0 mm | ||
縦 | 9.0 mm | |||
15型モニタ上倍率 38× | 横 | 8.0 mm | ||
縦 | 6.0 mm | |||
15型モニタ上倍率 50× | 横 | |||
縦 | 4.5 mm | |||
高倍(高解像度) | 15型モニタ上倍率 40× | 横 | 7.6 mm | |
縦 | 5.7 mm | |||
15型モニタ上倍率 80× | 横 | 3.8 mm | ||
縦 | 2.9 mm | |||
15型モニタ上倍率 120× | 横 | 2.5 mm | ||
縦 | 1.9 mm | |||
15型モニタ上倍率 160× | 横 | |||
縦 | 1.4 mm | |||
ズーム | 1~4倍 | |||
高さ測定 | 表示分解能 | 0.1 µm | ||
高さ測定範囲 | Z連結なし | 低倍 (広視野) : 10 mm | ||
Z連結あり | 低倍 (広視野) : 50 mm | |||
繰り返し精度σ | Z連結なし | 0.4 µm*1 | ||
Z連結あり | 1.0 µm*1 | |||
正確さ | Z連結なし | ±2.5 µm*1 | ||
Z連結あり | ±4.0 µm*1 | |||
幅測定 | 繰り返し精度σ | 低倍 (広視野) : 1 µm | ||
正確さ | 低倍 (広視野) : ±5 µm | |||
連結機能 | VR-5200 : 全自動測定 (XY自動制御 + Z自動制御) 、自動マップ画像作成、自動領域設定 | |||
XY測定可能範囲 | VR-5200 : 206 × 104 mm | |||
ステージ | XYストローク | VR-5200 : 184 × 88 mm (電動) | ||
Zストローク | 73 mm (電動) | |||
耐荷重 | 4.5 kg | |||
作動距離 | 75 mm | |||
撮像素子 | 1型 400万画素 モノクロCMOS | |||
投光レンズ | ダブルテレセントリックレンズ×2 | |||
受光レンズ | ダブルテレセントリックレンズ | |||
データ処理部 | 弊社指定専用PC (OSはWindows 10 Pro) | |||
電源 | 電源電圧 | AC 100~240 V 50/60 Hz | ||
消費電力 | 200 VA以下 | |||
耐環境性 | 使用周囲温度 | +15 ~ 30 ℃ | ||
使用周囲湿度 | 20 ~ 80 % RH (ただし結露なきこと) | |||
質量 | 約4 kg | |||
*1 当社規定の標準ゲージを使用し、当社規定の測定モードで測定したときの値 (周囲温度 23 ±1℃) |
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