形状測定レーザマイクロスコープ
VK-8700/9700 GenerationII シリーズ
カラー3Dレーザ顕微鏡 VK-8700
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- 推奨代替機種
仕様
型式 | VK-8700 | |||
種類 | コントローラ部 | |||
対物レンズ倍率 | 15型モニタ上倍率 200 | 10× | ||
15型モニタ上倍率 400 | 20× | |||
15型モニタ上倍率 1000 | 50× | |||
15型モニタ上倍率 2000 | 100× | |||
観察測定範囲 | 横(H) | 15型モニタ上倍率 200 | 1350 µｍ*1 | |
15型モニタ上倍率 400 | 675 µｍ*1 | |||
15型モニタ上倍率 1000 | 270 µｍ*1 | |||
15型モニタ上倍率 2000 | 135 µｍ*1 | |||
縦(V) | 15型モニタ上倍率 200 | 1012 µｍ*1 | ||
15型モニタ上倍率 400 | 506 µｍ*1 | |||
15型モニタ上倍率 1000 | 202 µｍ*1 | |||
15型モニタ上倍率 2000 | 101 µｍ*1 | |||
作動距離 | 15型モニタ上倍率 200 | 16.5 mm | ||
15型モニタ上倍率 400 | 3.1 mm | |||
15型モニタ上倍率 1000 | 0.54 mm | |||
15型モニタ上倍率 2000 | 0.3 mm | |||
開口数(N.A.) | 15型モニタ上倍率 200 | |||
15型モニタ上倍率 400 | 0.46 mm | |||
15型モニタ上倍率 1000 | 0.8 mm | |||
15型モニタ上倍率 2000 | 0.95 mm | |||
観察・測定用光学系 | ピンホールによる共焦点光学系 | |||
高さ測定 | 測定範囲 | 7 mm | ||
表示分解能 | 0.01µm | |||
繰り返し精度σ | 0.03µm*2 | |||
幅測定 | 表示分解能 | 0.01µm | ||
繰り返し精度3σ | 0.03µm*3 | |||
フレームメモリ | ピクセル数 | 2048×1536、1024×768 | ||
映像用(モノクロ) | 14bit | |||
映像用(カラー) | RGB 各8bit | |||
高さ測定用 | 20bit | |||
光学ズーム | 1× ～ 6× | |||
オート機能 | AAG (オートゲイン)/オートフォーカス/RPD | |||
測定用レーザ光源 | 波長 | 赤色レーザ 658nm | ||
最大出力 | 0.9mW | |||
クラス | クラス2 (JIS C6802) | |||
受光素子 | PMT (光電子増倍管) | |||
光学観察用光源 | ランプ | 100Wハロゲン | ||
光学観察用カラーカメラ | 撮像素子 | カラーCCDイメージセンサ | ||
オート調整 | ゲイン、シャッタースピード | |||
データ処理部 | 当社指定専用PC | |||
電源 | 消費電流 | 最大 400 VA | ||
ソフトウェア部 | スケール表示ソフトウェア | 観察画面に基準スケールを表示させるソフトウェア | ||
グラフ表示ソフトウェア | 断面形状グラフを表示するソフトウェア | |||
通信DLL制御部 | DLLコマンドを用い、外部からVK本体の操作を制御するユニット | |||
オートフォーカスソフトウェア | 観察時に自動で焦点を合わせるソフトウェア | |||
ビギナーモード機能ソフトウェア | フローチャート方式で簡単に測定が行なえるソフトウェア | |||
超高精細モード機能ソフトウェア | 通常の4倍の高密度スキャンを行ない、高解像度データを得るソフトウェア | |||
AAG機能ソフトウェア | 自動で設定範囲内のレーザ受光感度を調整するソフトウェア | |||
RPD機能ソフトウェア | 速く、正確に測定結果を検出するアルゴリズム | |||
リアルタイム3D機能ソフトウェア | リアルタイムで3D情報を構築し表示するソフトウェア | |||
電源 | 電源電圧 | AC100 ～ 240V, 50/60 Hz | ||
質量 | 約 11 kg | |||
*1 観察測定範囲は最小視野範囲となっています。 | ||||
