形状測定レーザマイクロスコープ
VK-8700/9700 GenerationII シリーズ
電動X-Yステージ VK-S105
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- 推奨代替機種
仕様
型式 | VK-S105 | |||
移動方向 | X・Y軸 | |||
ストローク | 50×50 mm | |||
テーブルサイズ | 100×100 mm | |||
ガイド方法 | クロスローラガイド | |||
フィード方法 | 精密ポールネジ、リード1 mm | |||
軸変換慣性 | X軸 9.29×10-7kg・m2、 Y軸 9.62×10-7kg・m2 | |||
モータ | 0.35A/相、5相ステッピングモータ | |||
分解度 | 1 µm | |||
位置決め精度 | 10 µm | |||
繰り返し位置決め精度 | ±1 µm | |||
跳ね返り | 1 µm | |||
ロストモーション | 3 µm | |||
直観性 (垂直・水平) | 5 µm | |||
平行性A | X：10 µm、Y：10 µm | |||
XY直角度 | 10 µm | |||
耐加重 | 3 kg | |||
主材料・概観 | アルミニウム合金・ブラックアルマイト仕上げ | |||
質量 | 2.5 kg | |||
