コントローラ HM-1000

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型式		HM-1000
種類		コントローラ
測定領域 XYZ		200 mm × 200 mm × 30 mm (100 mm^*1)
測定精度		平面^2：±2 µm^3 段差^2：±3 µm^4
スポット径		約 ø200 µm
光源	測定用光源	赤外 SLD、中心波長 820 nm 最大 0.6 mW、クラス1
	ガイド用光源	赤色半導体 LD 655 nm 最大 45 µW、クラス1
外部リモート入力(測定開始)		無電圧入力 (有接点/無接点)
外部出力	OK/NG/FAIL/MEAS.	PhotoMOS 出力定格負荷：DC 24 Vm、0.5 A ON 抵抗：2 Ω 以下
インターフェース	LAN	RJ45 (1000BASE-T/100BASE-TX/10BASE-T)
	USB2.0シリーズA	6 系統 (正面 2、背面 4 系統)
記録	ハードディスクドライブ	500 GB
表示分解能		0.3 µm
モニタ出力		16 : 9 Full HD (VGA、DVI)
電源	電源電圧	100 ～ 240 VAC、50/60 Hz
	消費電流	430 VA 以下
耐環境性	使用周囲温度	10 ～ 35 ℃
	保存温度	-5 ～ +45 ℃
	使用周囲湿度	20 ～ 80 ％ RH (結露無きこと)
質量		約 8 kg
^1 1度に測定できる段差は 30 mm。ステージ面を 0 mmとして、100 mm の高さまで測定可能。 ^2 使用周囲温度 20±1℃のとき。 ^3 弊社標準対象物を使用し、ø100 mm (XY) の範囲で平面を測定した値。ø100 mm ～ ø200 mm (XY) の範囲では±4 µm。ø200 mm (XY) の範囲外では±5 µm。 ^4 弊社標準対象物を使用し、平均高さ測定モードで測定した値。