ヘッド タッチプローブ搭載モデル LM-X100T


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LM-X100T - ヘッド タッチプローブ搭載モデル

仕様

型式

LM-X100T

種類

ヘッド

撮像素子

1型 2000万画素 モノクロCMOS

受光レンズ

ダブルテレセントリックレンズ

画像測定

視野

広視野測定モード

325 mm × 175 mm

高精度測定モード

306 mm × 156 mm

最小表示単位

0.1 μm

繰り返し精度

視野内(2σ)

広視野測定モード

±0.5 μm

高精度測定モード

±0.1 μm

ステージ移動あり

X・Y軸

±0.9 μm

XY平面

測定精度

視野内(2σ)

広視野測定モード

±2 μm*1

高精度測定モード

±0.7 μm*2

ステージ移動あり

X・Y軸(EUX,MPE、EUY,MPE)

±(1.8 + 0.02 L) μm*3

XY平面(EUXY,MPE)

±(2.8 + 0.02 L) μm*3

AF高さ測定

繰り返し精度

±2 μm

測定精度(EUZ,MPE)

±(4.8 + 0.04 L) μm*4

タッチプローブ測定

測定可能範囲(XY)

248 mm × 141 mm

測定力

0.015 N*5

最小表示単位

0.1 μm

繰り返し精度

X・Y軸

±1.4 μm

XY平面

Z軸

測定精度

X・Y軸(EUX,MPE、EUY,MPE)

±(2.8 + 0.02 L) μm*6

XY平面(EUXY,MPE)

±(3.8 + 0.02 L) μm*6

Z軸(EUZ,MPE)

±(4.8 + 0.04 L) μm*4

外部リモート入力

無電圧入力(有接点/無接点)

外部出力

OK/NG/FAIL/MEAS.

PhotoMOS出力
定格負荷 DC 24 V、0.5 A
ON抵抗 50 mΩ以下

照明系

透過

緑色LEDテレセントリック透過照明

落射

カラーLED、
白色LED 4分割マルチアングル照明(電動)
緑色LEDスリットリング(指向性)側射照明(電動)
白色LEDテレセントリック同軸照明

外部照明制御

光量制御

PWM制御 100 kHz

出力電圧

DC 12 V

出力電流

1.6 A(最大)

XYステージ

移動範囲

300 mm × 150 mm
(電動)

耐荷重

7 kg

Zステージ

移動範囲

75 mm(電動)

電源

電源電圧

AC 100~240 V±10%(50/60 Hz)

消費電力

150 VA以下

耐環境性

使用周囲温度

+10~35℃*7

使用周囲湿度

20~80%RH(結露なきこと)

過電圧カテゴリ

汚染度

2

質量

約34 kg

*1 □20 mmの範囲、合焦点位置にて使用周囲温度+23±1℃のとき
*2 □5 mmの範囲、合焦点位置にて使用周囲温度+23±1℃のとき
*3 ISO10360-7参考、合焦点位置にて使用周囲温度+23±1℃、ステージ積載重量2 kg以下のとき、LはXYステージ移動量(mm)
*4 ISO10360-7参考、面-点高さ、使用周囲温度+23±1℃、測定対象物の最大高さ設定50 mm以下のとき、LはZステージ移動量(mm)
*5 代表値
*6 ISO10360-7参考、使用周囲温度 +23 ±1℃、ステージ積載重量2 kg以下のとき、LはXYステージ移動量(mm)
*7 XYステージ移動速度80 mm/sのときは+15~35℃