【新商品情報】視野全域を死角なく、高精度な3D検査を実現。インライン3D外観・寸法検査「画像処理システム」 登場!

形状測定レーザマイクロスコープ
VK-8700/9700 シリーズ GenerationII
電動X-Yステージ VK-S110

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テスト機

VK-S110 - 電動X-Yステージ

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  • CSA

仕様

型式

VK-S110

移動方向

X・Y軸

ストローク

100×100 mm

テーブルサイズ

140×140 mm

ガイド方法

クロスローラガイド

フィード方法

精密ポールネジ、リード1 mm

軸変換慣性

X軸 9.29×10-7kg・m2、 Y軸 9.62×10-7kg・m2

モータ

0.35A/相、5相ステッピングモータ
5線ペンタゴン結線、保持トルク:0.017N・m、
ロータ慣性:4.2g・cm2

分解度

1 µm

位置決め精度

10 µm

繰り返し位置決め精度

±1 µm

跳ね返り

1 µm

ロストモーション

3 µm

直観性 (垂直・水平)

15 µm

平行性A

X:20 µm、Y:20 µm

XY直角度

15 µm

耐加重

3 kg

主材料・概観

アルミニウム合金・ブラックアルマイト仕上げ

質量

3.7 kg