形状解析レーザ顕微鏡
VK-X シリーズ

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推奨代替機種

VK-X シリーズ - 形状解析レーザ顕微鏡

形状解析レーザ顕微鏡 VK-Xシリーズは“レーザー光源”と“白色光源”の2つの光源を内蔵しています。レーザーを使い、静音かつ超高速にXYZ方向に表面をスキャンすることで、水平分解能の高い画像取得と高さ測定を実現。超高解像度スキャンにより、SEMに匹敵する倍率と解像度の画像が取得できます。また、白色光を使うことでサンプル表面の色情報を光学顕微鏡のように捉えることができ、わかりやすいフルカラー画像での撮影が可能です。さらに、VK-Xシリーズでは、バイオレットレーザー404nmと赤色半導体レーザー661nmの2種類の光源をラインナップ。用途に応じて、それぞれの波長の特徴を活かした観察・測定・解析を実現します。

  • 新ツールにより表面の”違い”を見える化
  • 1クリックだけ・分解能0.5ナノ・観察42~28800倍

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VK-X3000 シリーズ - 白色干渉計搭載 レーザ顕微鏡

  • ナノ・マイクロ・ミリが一台で測れる
  • トリプルスキャン方式による圧倒的な測定対応力
  • 高度な膜厚・薄膜・厚みの測定を実現

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