白色干渉計搭載 レーザ顕微鏡 VK-X3000 シリーズ
レーザー共焦点・白色干渉・フォーカスバリエーションの3つの異なるスキャン原理を使い分け、さまざまな対象物を高精度に測定・解析することができます。
- ナノ・マイクロ・ミリが一台で測れる
- トリプルスキャン方式による圧倒的な測定対応力
- 高度な膜厚・薄膜・厚みの測定を実現
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VK-X4000 シリーズ
3つのスキャン方式×全自動多点測定であらゆる測定を高精度・効率化
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