白色干渉計搭載 レーザ顕微鏡 VK-X3000 シリーズ
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ヘッド部 VK-X3100


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VK-X3100 - ヘッド部

仕様

型式

VK-X3100

種類

ヘッド部

総合倍率

42〜28800倍*1

視野範囲

11〜7398 μm

測定原理

レーザー共焦点、フォーカスバリエーション、白色干渉、分光干渉

レーザ光源波長

半導体レーザ404 nm

最高レーザ測定スピード

面:125 Hz、線:7900 Hz*2

レーザ最大出力

0.9 mW

レーザクラス

クラス2(JIS C6802)

レーザ受光素子

16bitセンシングフォトマルチプライヤ

白色光源

白色LED

白色光受光素子

超高精細カラーCMOS

レーザ共焦点

高さ表示分解能

0.1 nm

高さ繰り返し精度 σ

×10:100 nm、×20:40 nm、×50:12 nm

高さ正確さ

0.2+L/100 μm以下*3

幅表示分解能

0.1 nm

幅繰り返し精度 3σ

×10:200 nm、×20:100 nm、×50:40 nm

幅正確さ

測定値の±2%以内*3

フォーカスバリエーション

高さ表示分解能

0.1 nm

高さ繰り返し精度 σ

×5:500 nm、×10:100 nm、×20:50 nm、×50:20 nm

高さ正確さ

0.2+L/100 μm以下*3

幅表示分解能

0.1 nm

幅繰り返し精度 3σ

×5:400 nm、×10:400 nm、×20:120 nm、×50:50 nm

幅正確さ

測定値の±2%以内*3

白色干渉

高さ表示分解能

0.01 nm

幅表示分解能

0.1 nm

Surface Topography Repeatability

0.08 nm*4

Repetability of RMS

0.008 nm*4

分光干渉膜厚測定

繰り返し精度 σ

0.1 nm*4

正確さ

±0.6%*4

光学観察

画素数

560万

レボルバ―

6穴電動レボルバ―

リング照明対応レンズ

×2.5、×5、×10

光学ズーム

1〜8倍

XYステージ構成

手動稼働範囲

70×70 mm

電動稼働範囲

100×100 mm

電源

電源電圧

AC100〜240 V、50/60 Hz

消費電力

150 VA

耐環境性

使用周囲温度

+15〜28 ℃

使用周囲湿度

20〜80% RH(結露なきこと)

質量

約13 kg

*1 23型モニター画面上でのフル画面表示の時の倍率
*2 測定モード/測定品質/レンズ倍率組み合わせの中で細則の場合。ラインスキャンは測定ピッチが0.1 μ以内時。
*3 標準試料を20倍以上のレンズで測定した時
*4 弊社既定の測定環境における代表値です。