ナノスケールハイブリッド顕微鏡 VN-8010

型式

VN-8010

種類

測定部

コントローラ部

VN-8000

マイクロスコープ部

光学レンズ

専用設計ズームレンズ (RZレンズ)

17型モニタ上倍率

250× ～ 1250×

観察範囲

1000 (H)×750 (V)µm ～ 200 (H)×150 (V)µm

撮像素子

CCD イメージセンサ

フレームレート

15 F/s

ホワイトバランス

プッシュセット/マニュアル

画像改善

フレアキャンセル/エッジ強調/ガンマ補正/オフセット/モノクロ・レリーフ

光学ズーム

電動ズーム ズーム倍率5倍

フォーカス

電動フォーカス

照明

電動照明絞り

光源

50W ハロゲンランプ

深度合成 (3D作成)機能

手動任意設定/自動設定 (倍率に応じて)

観察範囲

XY方向

200nm ～ 200µm

Z方向

±10 µm

垂直分解能

0.3 nm

表示垂直分解能

0.0012 nm

スキャンモード

通常スキャン (面スキャン)/ ラインスキャン

検出方式

自己検知式

観察モード

コンタクト/DFM/SS

サンプリング数

最大4096 × 4096

除振機構

B.F.M.構造^*1

アプローチ補助機構

サイドビューカメラ

最大試料サイズ

試料最大高さ

16 mm

試料最大大きさ

直径100mm全面観察可能

XYステージ

ストローク

電動 20mm

電動Zステージ

20 mm

θステージ

360度

ステージ耐荷重

1 kg

データ処理部

当社指定専用PC (OS：WindowsXP)^*2

PCインターフェース

IEEE1394

定格

電源電圧

AC 100 ～ 240 V ±10 %、50/60 Hz

消費電力

300VA以下

耐環境性

使用周囲温度

+18 ～ +28 ℃

使用周囲湿度

20 ～ 70 % RH (結露しないこと)

質量

測定部

23.7 kg

コントローラ部

11.2 kg