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ワンショット3D形状測定機
VR シリーズ
ワンショット3D形状測定機 コントローラ VR-5000

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テスト機

VR-5000 - ワンショット3D形状測定機 コントローラ

  • CE Marking
  • CSA

仕様

型式

VR-5000

種類

コントローラ

対応ヘッド

VR-5200,VR-5100

観察視野

低倍(広視野)

15型モニタ上倍率 12×

24.0 mm

18.0 mm

15型モニタ上倍率 25×

12.0 mm

9.0 mm

15型モニタ上倍率 38×

8.0 mm

6.0 mm

15型モニタ上倍率 50×

4.5 mm

高倍(高解像度)

15型モニタ上倍率 40×

7.6 mm

5.7 mm

15型モニタ上倍率 80×

3.8 mm

2.9 mm

15型モニタ上倍率 120×

2.5 mm

1.9 mm

15型モニタ上倍率 160×

1.4 mm

ズーム

1~4倍

高さ測定

表示分解能

0.1 µm

高さ測定範囲

Z連結なし

低倍 (広視野) : 10 mm
高倍 (高解像度) : 1 mm

Z連結あり

低倍 (広視野) : 50 mm
高倍 (高解像度) : 30 mm

繰り返し精度σ

Z連結なし

0.4 µm*1

Z連結あり

1.0 µm*1

正確さ

Z連結なし

±2.5 µm*1

Z連結あり

±4.0 µm*1

幅測定

繰り返し精度σ

低倍 (広視野) : 1 µm
高倍 (高解像度) : 0.5 µm
*1

正確さ

低倍 (広視野) : ±5 µm
高倍 (高解像度) : ±2 µm
*1

連結機能

VR-5200 : 全自動測定 (XY自動制御 + Z自動制御) 、自動マップ画像作成、自動領域設定
VR-5100 : 手動測定 (XY手動移動 + Z自動制御)
*2

XY測定可能範囲

VR-5200 : 206 × 104 mm
VR-5100:92 × 86 mm
*2

ステージ

XYストローク

VR-5200 : 184 × 88 mm (電動)
VR-5100 : 70 × 70 mm (手動)

Zストローク

73 mm (電動)

耐荷重

4.5 kg

作動距離

75 mm

撮像素子

1型 400万画素 モノクロCMOS

投光レンズ

ダブルテレセントリックレンズ×2

受光レンズ

ダブルテレセントリックレンズ

照明系

観察用光源

LEDリング照明 (赤、青、緑)

測定用光源

白色LED

データ処理部

弊社指定専用PC (OSはWindows 10 Pro)

電源

電源電圧

AC 100~240 V 50/60 Hz

消費電力

200 VA以下

耐環境性

使用周囲温度

+15 ~ 30 ℃

使用周囲湿度

35 ~ 80 % RH (ただし結露なきこと)

質量

約4 kg

*1 当社規定の標準ゲージを使用し、当社規定の測定モードで測定したときの値 (周囲温度 23 ±1℃)
*2 測定機能拡張モジュール (VR-H3J) が必要