電子顕微鏡 EB-3000F
仕様
型式 | EB-3000F | |||
レンズ・ヘッド部 | 倍率 | 50倍~250000倍 | ||
観察像 | 二次電子像 | |||
加速電圧 | 1.2 kV/5 kV/10 kV/15 kV | |||
電子銃 | タングステンヘアピン・プリセンターカートリッジ式 | |||
表示分解能 | 1600(H) × 1200(V), 2880(H) × 2160(V) | |||
自動調整機能 | オートフォーカス、オート明るさ・コントラスト調整 | |||
メンテナンス機能 | 消耗品交換・自動補正機能付き | |||
試料ステージ | 方式 | 5軸フル電動ユーセントリック式 | ||
試料サイズ | 試料室 φ180 mm 試料高さ 50 mm | |||
X/Y軸 | 大気 ±50 mm 真空 φ90 mm | |||
上Z軸 | 49 mm | |||
下Z軸 | 65 mm | |||
T軸(傾斜軸) | 最大傾斜45度レンズ傾斜ユーセントリック方式 | |||
θ軸(回転軸) | ±175度 | |||
外形寸法 | ヘッド・高圧ユニット | ヘッド:幅498 mm × 高さ466 mm × 奥行545 mm 高圧ユニット:幅194 mm × 高さ412 mm × 奥行498 mm | ||
スタンド | 幅530 mm × 高さ340 mm × 奥行604 mm | |||
電子顕微鏡用ポンプ | 幅370 mm × 高さ520 mm × 奥行183 mm | |||
972399+OP-89216 | 幅174 mm × 高さ445 mm × 奥行453 mm | |||
電源 | 電源電圧 | AC100-240 V ±10% 50/60 Hz | ||
消費電力 | (高圧ユニット) 300 VA | |||
耐環境性 | 温度 | 10~35℃ | ||
湿度 | 70% RH以下(結露なきこと) | |||
浮遊磁場 | 交流 0.3 μT(P-P)以下 | |||
質量 | ヘッド・高圧ユニット | 55.5 kg | ||
スタンド | 44 kg | |||
電子顕微鏡用ポンプ | 17 kg | |||
ダイアフラムポンプ | 24 kg | |||
972399+OP-89216 | ||||
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