電子顕微鏡 EB-3000F


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EB-3000F - 電子顕微鏡

仕様

型式

EB-3000F

レンズ・ヘッド部

倍率

50倍~250000倍

観察像

二次電子像

加速電圧

1.2 kV/5 kV/10 kV/15 kV

電子銃

タングステンヘアピン・プリセンターカートリッジ式

表示分解能

1600(H) × 1200(V), 2880(H) × 2160(V)

自動調整機能

オートフォーカス、オート明るさ・コントラスト調整

メンテナンス機能

消耗品交換・自動補正機能付き

試料ステージ

方式

5軸フル電動ユーセントリック式

試料サイズ

試料室 φ180 mm 試料高さ 50 mm

X/Y軸

大気 ±50 mm 真空 φ90 mm

上Z軸

49 mm

下Z軸

65 mm

T軸(傾斜軸)

最大傾斜45度レンズ傾斜ユーセントリック方式

θ軸(回転軸)

±175度

外形寸法

ヘッド・高圧ユニット

ヘッド:幅498 mm × 高さ466 mm × 奥行545 mm 高圧ユニット:幅194 mm × 高さ412 mm × 奥行498 mm

スタンド

幅530 mm × 高さ340 mm × 奥行604 mm

電子顕微鏡用ポンプ

幅370 mm × 高さ520 mm × 奥行183 mm

972399+OP-89216

幅174 mm × 高さ445 mm × 奥行453 mm

電源

電源電圧

AC100-240 V ±10% 50/60 Hz

消費電力

(高圧ユニット) 300 VA
(電子顕微鏡用ポンプ) 500 VA

耐環境性

温度

10~35℃

湿度

70% RH以下(結露なきこと)

浮遊磁場

交流 0.3 μT(P-P)以下

質量

ヘッド・高圧ユニット

55.5 kg

スタンド

44 kg

電子顕微鏡用ポンプ

17 kg

ダイアフラムポンプ

24 kg

972399+OP-89216