リアルサーフェスビュー顕微鏡 VE-7800S

型式

VE-7800S

各種機能

観察時自動調整機能

光軸・フォーカス・非点収差・コントラスト/明るさ・フルオート

元素分析機能

計測機能^*1・エネルギー分散型元素分析機能^*2

基本仕様

倍率

15 ～100000 倍^*3

観察範囲

8.3(H)×6.2(V)mm ～1.2(H)×9.3(V)µm

分解能

30nm

観察像

2次電子像・反射電子像^*4

観察モード

高真空圧・低真空圧(3 ～260Pa)^*5

表示分解能

観察時

640(H)×480(V)

撮影時

1280(H)×960(V)

フレームレート

約4.5F/S (観察時)

画像保存形式

2D像

BMP ・TIFF ・JPG

3D像

加速電圧

0.5 ～20kV

電子銃

タングステンヘアピン・プリセンタードカートリッジ式

最大試料サイズ

ø64mm

試料ステージ

5 軸(X ・Y ・Z ・回転・傾斜)ユーセントリック式^*6
X ：32mm ・Y ：32mm ・Z ：8 ～30mm ・回転：360 °・傾斜：‐ 10 ～90 °

電源

電源電圧

AC90 ～110V 50/60Hz

消費電力

1500VA 以下

耐環境性

使用周囲温度

15 ～30 ℃

使用周囲湿度

35 ～85%RH (結露しないこと)

外形寸法

本体

幅395 ×高さ980 ×奥行650mm(突起部含まず)

外部ポンプ

幅500 ×高さ365 ×奥行170mm

質量

本体

約120kg

外部ポンプ

約27kg