形状解析レーザ顕微鏡
VK-X シリーズ
形状測定レーザマイクロスコープ VK-X100
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- 推奨代替機種
仕様
型式 | VK-X100 | |||
種類 | コントローラ部 | |||
光学ズーム | 1 ～ 8倍 | |||
総合倍率 | 100× ～ 8000× | |||
観察・測定用光学系 | ピンホール共焦点光学系 | |||
高さ測定 | 測定範囲 | 7 mm | ||
表示分解能 | 0.005 µm | |||
繰り返し精度σ | 0.02 µm*1 | |||
幅測定 | 表示分解能 | 0.01 µm | ||
繰り返し精度3σ | 0.05 µm*2 | |||
フレームメモリ | ピクセル数 | 2048×1536、1024×768、1024×64 | ||
映像用 (モノクロ) | 16 bit | |||
映像用 (カラー) | RGB 各8bit | |||
高さ測定用 | 21 bit | |||
フレームレート | 面スキャン | 4 ～ 120 Hz*3 | ||
ラインスキャン | 7,900 Hz*3 | |||
オート機能 | オートゲイン/オートフォーカス/オート上下限設定 | |||
測定用レーザ光源 | 波長 | 赤色半導体レーザ 658 nm | ||
最大出力 | 0.95 mW | |||
クラス | クラス2 (JIS C6802) | |||
受光素子 | PMT (光電子増倍管) | |||
光学観察用光源 | ランプ | 100Wハロゲン | ||
光学観察用 カラーカメラ | 撮像素子 | 1/3型カラーCCDイメージセンサ | ||
撮影解像度 | 超高精細[3072×2304] | |||
オート調整 | ゲイン、シャッタースピード | |||
データ処理部 | 弊社指定専用PC | |||
ソフトウェア部 | オートフォーカスソフトウェア | 観察時に自動で焦点を合わせるソフトウェア | ||
ピクセルシフトソフトウェア | 画像を撮影する際に、画素をずらして撮影し、撮影画素数を上げるソフトウェア | |||
HDR機能ソフトウェア | 16bitでデータを取得し、画像の見栄えを最適化するソフトウェア | |||
RPD機能ソフトウェア | 速く、正確に測定結果を検出するアルゴリズム | |||
AAG機能ソフトウェア | 自動で、設定範囲内のレーザ受光感度を調整するソフトウェア | |||
自動上下限設定ソフトウェア | 対象物の上限と下限を自動で認識し、測定レンジを設定するソフトウェア | |||
簡単モード機能ソフトウェア | フローチャート方式で簡単に測定が行なえるソフトウェア | |||
コメント機能ソフトウェア | 観察画面にコメントを表示させるソフトウェア | |||
計測・スケール表示ソフトウェア | 寸法計測や観察画面にスケールを表示させるソフトウェア | |||
質量 | 約 11 kg | |||
*1 対物レンズ 50 倍にて、標準段差 2 µm を測定する場合。 | ||||
