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画像寸法測定器
IM-7000 シリーズ
測定ヘッド IM-7010

仕様

型式

IM-7010

種類

ヘッド
透過照明・固定落射リング照明搭載モデル

撮像素子

1型 660万画素 モノクロCMOS

ディスプレイ

10.4型 LCDモニタ(XGA:1024×768)

受光レンズ

ダブルテレセントリックレンズ

画像測定

視野

広視野測定モード:200×200mm(4角R50)
高精度測定モード:125×125mm

最小表示単位

0.1µm

繰り返し精度

ステージ移動なし

広視野測定モード:±1µm
高精度測定モード:±0.5µm

ステージ移動あり

広視野測定モード:±2µm
高精度測定モード:±1.5µm

測定精度 ±2σ

連結なし

広視野測定モード:±5µm*1
高精度測定モード:±2µm*2

連結あり

広視野測定モード:±(7+0.02L)µm*3
高精度測定モード:±(4+0.02L)µm*4

外部リモート入力

無電圧入力(有接点/無接点)

外部出力

OK/NG/FAIL/MEAS.

PhotoMos出力
定格負荷 DC24V 0.5A
ON抵抗 50mΩ以下

インターフェース

LAN

RJ-45 (10BASE-T/100BASE-TX/1000BASE-T)

USB 3.1

4系統(背面4)

USB2.0シリーズA

2系統(正面2)

記録

ハードディスクドライブ

500GB

照明系

透過

テレセントリック透過照明

落射

4分割リング照明

XYステージ

移動範囲

100×100mm(電動)

耐荷重

5kg

Zステージ

移動範囲

75mm(電動)

電源

電源電圧

AC100~240V 50/60Hz

消費電力

430VA以下

耐環境性

汚染度

2

過電圧カテゴリ

II

使用周囲温度

+10 ~ +35 ℃

使用周囲湿度

20 ~ 80 % RH (結露しないこと)

質量

約 30 kg

*1 ø80mmの範囲、合焦点位置にて使用周囲温度+23±1℃のとき
*2 ø20mmの範囲、合焦点位置にて使用周囲温度+23±1℃のとき
*3 180×180mm(4角R40)の範囲、合焦点位置にて使用周囲温度+23±1℃、ステージ積載重量2kg以下のとき Lはステージ移動量(mm)
*4 120×120mmの範囲、合焦点位置にて使用周囲温度+23±1℃、ステージ積載重量2kg以下のとき Lはステージ移動量(mm)