【新商品情報】 微細欠陥の検出能力を大幅強化した画像処理システム「XG-Xシリーズ」登場。詳細は こちら!

画像寸法測定器
IM-7000 シリーズ
測定ヘッド IM-7020

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テスト機

IM-7020 - 測定ヘッド

仕様

型式

IM-7020

種類

ヘッド
透過照明・可変照明ユニット・ライトプローブユニット搭載モデル

撮像素子

1型 660万画素 モノクロCMOS

ディスプレイ

10.4型 LCDモニタ(XGA:1024×768)

受光レンズ

ダブルテレセントリックレンズ

画像測定

視野

広視野測定モード:200×200mm(4角R50)
高精度測定モード:125×125mm

最小表示単位

0.1µm

繰り返し精度

ステージ移動なし

広視野測定モード:±1µm
高精度測定モード:±0.5µm

ステージ移動あり

広視野測定モード:±2µm
高精度測定モード:±1.5µm

測定精度 ±2σ

連結なし

広視野測定モード:±5µm*1
高精度測定モード:±2µm*2

連結あり

広視野測定モード:±(7+0.02L)µm*3
高精度測定モード:±(4+0.02L)µm*4

ライトプローブ測定

測定可能領域(XY)

90×90mm

最大測定深さ

30mm

ライトプローブ直径

ø3mm

測定力

0.015N

繰り返し精度

±2µm*5

測定精度

±(8+0.02L)µm*6

外部リモート入力

無電圧入力(有接点/無接点)

外部出力

OK/NG/FAIL/MEAS.

PhotoMos出力
定格負荷 DC24V 0.5A
ON抵抗 50mΩ以下

インターフェース

LAN

RJ-45(10BASE-T/100BASE-TX/1000BASE-T)

USB2.0シリーズA

6系統(正面:2系統/背面:4系統)

記録

ハードディスクドライブ

500GB

照明系

透過

テレセントリック透過照明

落射

4分割マルチアングル照明(電動)
スリットリング(指向性)照明(電動)

XYステージ

移動範囲

100×100mm(電動)

耐荷重

5kg

Zステージ

移動範囲

75mm(電動)

電源

電源電圧

AC100~240V 50/60Hz

消費電力

430VA以下

耐環境性

汚染度

2

過電圧カテゴリ

II

使用周囲温度

+10 ~ +35 ℃

使用周囲湿度

20 ~ 80 % RH (結露しないこと)

質量

約 31 kg

*1 ø80mmの範囲、合焦点位置にて使用周囲温度+23±1℃のとき
*2 ø20mmの範囲、合焦点位置にて使用周囲温度+23±1℃のとき
*3 180×180mm(4角R40)の範囲、合焦点位置にて使用周囲温度+23±1℃、ステージ積載重量2kg以下のとき Lはステージ移動量(mm)
*4 120×120mmの範囲、合焦点位置にて使用周囲温度+23±1℃、ステージ積載重量2kg以下のとき Lはステージ移動量(mm)
*5 検出方法が標準のとき、検出方法が深い位置用のときは±3µm
*6 検出方法が標準、使用周囲温度23℃±1℃、ステージ積載重量2kg以下のとき、検出方法が深い位置用のときは±(10+0.02L)µm Lは測定長(mm)

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