ラージステージ IM-X1540

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仕様

型式			IM-X1540
種類			ステージユニット
使⽤ヘッド			IMヘッド、LMヘッド
測定範囲（X × Y）	画像測定	広視野モード[mm]	IMヘッド: 500 × 400、LMヘッド: 425 × 325
		高精度モード[mm]	IMヘッド: 425 × 325、LMヘッド: 406 × 306
	AF高さ[mm]		IMヘッド: ̶、LMヘッド: 400 × 300
	レーザ高さ[mm]		IMヘッド: 368 × 268、LMヘッド: 396 × 239
	タッチプローブ[mm]		IMヘッド: 346 × 296、LMヘッド: 350 × 296
Zステージ	移動範囲[mm]		200
測定精度	X・Y軸（EUX,MPE EUY,MPE）		1.8＋0.02L µm ^1 ^2
	X・Y平面（EUXY,MPE）		2.8＋0.02L µm ^1 ^2
	Z軸（EUZ,MPE）		3.8＋0.04L µm ^3 ^4
耐荷重			15 kg ^*5
定格	電源電圧		DC24 V
	消費電流		7.5 A
耐環境性	使用周囲温度		＋10 ～ 35℃ ^*6
質量			70 kg
^1 ISO10360-7 参考、使用周囲温度＋23±1℃、ステージ積載重量2 kg以下のとき、LはXYステージ移動量（mm） ^2 タッチプローブ測定時はISO10360-2参考、X・Y軸2.8＋0.02L µm、XY平面3.8＋0.02L µm ^3 ISO10360-7参考、タッチプローブ測定時はISO10360-2参考、使用周囲温度＋23±1℃、当社基準ワーク、測定対象物最大高さ設定62 mm以下のとき、LはZステージ移動量（mm） ^4 測定対象物最大高さ62 mmを超えるときは3.8＋0.08L µm ^5 XYステージ移動速度120 mm/sのときは5 kg ^6 XYステージ移動速度120 mm/sのときは＋15 ～ 35℃