広視野 IMヘッド IM-XC100L
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仕様
型式 | IM-XC100L | |||
種類 | ヘッド | |||
画像測定 | 視野 | 広視野モード [mm] | Ø100 | |
高精度モード [mm] | 25 × 25 | |||
最小表示単位 | 0.1 µm | |||
繰り返し精度 | 視野内（2σ） | 広視野モード | 1 µm | |
高精度モード | 0.5 µm | |||
測定精度 | 広視野モード | 3.5 µm *1 | ||
高精度モード | 1.8 µm *2 | |||
レーザ高さ | 繰り返し精度 | σ ≦ 0.6 µm | ||
スポット径 | Ø50 µm | |||
レーザクラス | Class 1 | |||
タッチプローブ | 繰り返し精度 | - | ||
測定力 | ||||
AF高さ | 繰り返し精度 | |||
照明系 | 透過 | 緑色LED、テレセントリック透過照明 | ||
落射 | カラーLED、白色LED4分割マルチアングル照明（電動） | |||
緑色LED、スリットリング（指向性）側射照明（電動） | ||||
白色LED同軸照明（オプション） | ||||
耐環境性 | 使用周囲温度 | ＋10 ～ 35℃ | ||
質量 | 12 kg | |||
*1 Ø80 mmの範囲、合焦点位置にて使用周囲温度＋23±1℃のとき | ||||