高倍率 LMヘッド LM-XC100TL


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LM-XC100TL - 高倍率 LMヘッド

仕様

型式

LM-XC100TL

種類

ヘッド

画像測定

視野

広視野モード [mm]

25 × 25

高精度モード [mm]

6 × 6

最小表示単位

0.1 µm

繰り返し精度

視野内(2σ)

広視野モード

0.5 µm

高精度モード

0.1 µm

測定精度

広視野モード

1.8 µm *1

高精度モード

0.7 µm *2

レーザ高さ

繰り返し精度

σ ≦ 0.6 µm

スポット径

Ø50 µm

レーザクラス

Class 1

タッチプローブ

繰り返し精度

±1 µm

測定力

0.015 N *3

AF高さ

繰り返し精度

±2 µm

照明系

透過

緑色LED、テレセントリック透過照明

落射

カラーLED、白色LED4分割マルチアングル照明(電動)

緑色LED、スリットリング(指向性)側射照明(電動)

白色LED、テレセントリック同軸照明

耐環境性

使用周囲温度

+10 ~ 35℃

質量

11 kg

*1 20 × 20 mmの範囲、合焦点位置にて使用周囲温度+23±1℃のとき
*2 5 × 5 mmの範囲、合焦点位置にて使用周囲温度+23±1℃のとき
*3 代表値