高倍率 LMヘッド LM-XC100TL

仕様
型式 | LM-XC100TL | |||
種類 | ヘッド | |||
画像測定 | 視野 | 広視野モード [mm] | 25 × 25 | |
高精度モード [mm] | 6 × 6 | |||
最小表示単位 | 0.1 µm | |||
繰り返し精度 | 視野内(2σ) | 広視野モード | 0.5 µm | |
高精度モード | 0.1 µm | |||
測定精度 | 広視野モード | 1.8 µm *1 | ||
高精度モード | 0.7 µm *2 | |||
レーザ高さ | 繰り返し精度 | σ ≦ 0.6 µm | ||
スポット径 | Ø50 µm | |||
レーザクラス | Class 1 | |||
タッチプローブ | 繰り返し精度 | ±1 µm | ||
測定力 | 0.015 N *3 | |||
AF高さ | 繰り返し精度 | ±2 µm | ||
照明系 | 透過 | 緑色LED、テレセントリック透過照明 | ||
落射 | カラーLED、白色LED4分割マルチアングル照明(電動) | |||
緑色LED、スリットリング(指向性)側射照明(電動) | ||||
白色LED、テレセントリック同軸照明 | ||||
耐環境性 | 使用周囲温度 | +10 ~ 35℃ | ||
質量 | 11 kg | |||
*1 20 × 20 mmの範囲、合焦点位置にて使用周囲温度+23±1℃のとき |