【新商品情報】3つの測定原理によるトリプルスキャン方式で“測れない”をなくす。白色干渉計搭載 レーザ顕微鏡「VK-X3000」誕生!

高精度 画像寸法測定器
LM シリーズ
ヘッド LM-1100

仕様

型式

LM-1100

種類

ヘッド

撮像素子

1型 2000万画素 モノクロCMOS

ディスプレイ

10.4型 LCDモニタ(XGA: 1024 × 768)

受光レンズ

ダブルテレセントリックレンズ

画像測定

視野

広視野測定モード

225 mm × 125 mm

高精度測定モード

206 mm × 106 mm

最小表示単位

0.1 µm

繰り返し精度

視野内(2σ)

広視野測定モード

±0.5 µm

高精度測定モード

±0.1 µm

ステージ移動あり

X・Y軸

±0.9 µm

XY平面

測定精度

視野内(2σ)

広視野測定モード

±2 µm*1

高精度測定モード

±0.7 µm*2

ステージ移動あり

X・Y軸(EUX,MPE、EUY,MPE)

±(1.8 + 0.02 L) µm*3

XY平面(EUXY,MPE)

±(2.8 + 0.02 L) µm*3

高さ測定

繰り返し精度

±2 µm

測定精度(EUZ,MPE)

±(4.8 + 0.04 L) µm*4

外部リモート入力

無電圧入力(有接点/無接点)

外部出力

OK/NG/FAIL/MEAS.

PhotoMOS出力
定格負荷 DC 24 V、0.5 A
ON抵抗 50 mΩ以下

インターフェース

LAN

RJ-45(10BASE-T/100BASE-TX/1000BASE-T)

USB 3.1

2系統( 背面2)

USB 2.0 Series A

4系統( 前2、背面2)

モニタ出力

DVI-D

記録

ハードディスクドライブ

500 GB

照明系

透過

テレセントリック透過照明

落射

4分割マルチアングル照明(電動)
スリットリング(指向性)側射照明(電動)
テレセントリック同軸照明

外部照明制御

光量制御

PWM制御 100 kHz

出力電圧

DC 12 V

出力電流

1.6 A(最大)

XYステージ

移動範囲

200 mm × 100 mm(電動)

耐荷重

7 kg

Zステージ

移動範囲

75 mm(電動)

電源

電源電圧

AC100~240 V±10%(50/60 Hz)

消費電力

430 VA以下

耐環境性

使用周囲温度

+10~35℃*5

使用周囲湿度

20~80%RH(結露なきこと)

過電圧カテゴリ

汚染度

2

質量

約30 kg

*1 □20 mmの範囲、合焦点位置にて使用周囲温度+23±1℃のとき
*2 □5 mmの範囲、合焦点位置にて使用周囲温度+23±1℃のとき
*3 ISO10360-7を参考、合焦点位置にて使用周囲温度+23±1℃、ステージ積載重量2 kg以下のとき、LはXYステージ移動量(mm)
*4 ISO10360-7を参考、使用周囲温度+23 ±1℃、測定最大高さ設定50 mm以下のとき、LはZステージ移動量(mm)
*5 XYステージ移動速度80 mm/sのときは+15~35℃