ヘッド マルチカラーレーザ/タッチプローブ搭載モデル LM-X100TL
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仕様
型式 | LM-X100TL | |||
種類 | ヘッド | |||
撮像素子 | 1型 2000万画素 モノクロCMOS | |||
受光レンズ | ダブルテレセントリックレンズ | |||
画像測定 | 視野 | 広視野測定モード | 325 mm × 175 mm | |
高精度測定モード | 306 mm × 156 mm | |||
最小表示単位 | 0.1 μm | |||
繰り返し精度 | 視野内(2σ) | 広視野測定モード | ±0.5 μm | |
高精度測定モード | ±0.1 μm | |||
ステージ移動あり | X・Y軸 | ±0.9 μm | ||
XY平面 | ||||
測定精度 | 視野内(2σ) | 広視野測定モード | ±2 μm*1 | |
高精度測定モード | ±0.7 μm*2 | |||
ステージ移動あり | X・Y軸（EUX,MPE、EUY,MPE） | ±（1.8 + 0.02 L） μm*3 | ||
XY平面（EUXY,MPE） | ±（2.8 ＋ 0.02 L） μm*3 | |||
AF高さ測定 | 繰り返し精度 | ±2 μm | ||
測定精度(EUZ,MPE) | ±（4.8 ＋ 0.04 L） μm*4 | |||
レーザ高さ測定 | 測定可能範囲（XY） | 239 mm × 146 mm | ||
最小表示単位 | 0.1 μm | |||
繰り返し精度 | ±0.6 μm*5 | |||
測定精度（EUZ,MPE） | ±（4.8 ＋ 0.04 L） μm*4 | |||
スポット径 | φ50 μm | |||
レーザクラス | Class 1 | |||
タッチプローブ測定 | 測定可能範囲（XY） | 248 mm × 141 mm | ||
測定力 | 0.015 N*6 | |||
最小表示単位 | 0.1 μm | |||
繰り返し精度 | X・Y軸 | ±1.4 μm | ||
XY平面 | ||||
Z軸 | ||||
測定精度 | X・Y軸（EUX,MPE、EUY,MPE） | ±（2.8 + 0.02 L） μm*7 | ||
XY平面（EUXY,MPE） | ±（3.8 ＋ 0.02 L） μm*7 | |||
Z軸（EUZ,MPE） | ±（4.8 ＋ 0.04 L） μm*4 | |||
外部リモート入力 | 無電圧入力（有接点／無接点） | |||
外部出力 | OK/NG/FAIL/MEAS. | PhotoMOS出力 | ||
照明系 | 透過 | 緑色LEDテレセントリック透過照明 | ||
落射 | カラーLED、 | |||
外部照明制御 | 光量制御 | PWM制御 100 kHz | ||
出力電圧 | DC 12 V | |||
出力電流 | 1.6 A（最大） | |||
XYステージ | 移動範囲 | 300 mm × 150 mm | ||
耐荷重 | 7 kg | |||
Zステージ | 移動範囲 | 75 mm（電動） | ||
電源 | 電源電圧 | AC 100～240 V±10％（50/60 Hz） | ||
消費電力 | 150 VA以下 | |||
耐環境性 | 使用周囲温度 | ＋10～35℃*8 | ||
使用周囲湿度 | 20～80%RH（結露なきこと） | |||
過電圧カテゴリ | Ⅱ | |||
汚染度 | 2 | |||
質量 | 約35 kg | |||
*1 □20 mmの範囲、合焦点位置にて使用周囲温度＋23±1℃のとき | ||||